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Calentador UPW
Estabilidad a temperatura : ±0,1 ℃
Rango de Temperatura : -20˚C～+80˚C
Potencia de Calefacción ：48KW-192KW
Módulo de Calentamiento de Agua Ultrapura (UPW) , Diseñado para un control térmico preciso en procesos críticos de fabricación de semiconductores, este sistema de calentamiento avanzado utiliza lámparas halógenas encapsuladas en cuarzo de alta pureza para calentamiento sin contacto, asegurando cero contaminación metálica.
- Descripción general
- Productos recomendados
Alcance de Aplicación
La fabricación de semiconductores : Limpieza de obleas de silicio o materiales compuestos
Industria de Baterías de Litio y Energía Solar Fotovoltaica : Sistemas de limpieza para líneas de producción
Industria de Paneles de Visualización : Limpieza de sustratos de vidrio para LCD
Alternativa ecológica : Reemplaza la limpieza con freón por soluciones de agua ultrapura
Las características clave
Construcción de material premium
Elementos calefactores de cuarzo de alta pureza
Sistemas de tuberías de fluororesina
Tecnología de calentamiento con lámparas de halógeno sin contacto
Diseño optimizado para el espacio
Perfil ultrafino minimiza el espacio ocupado
Control inteligente de la temperatura
Lámparas de halógeno de alta potencia permiten un calentamiento rápido
Ajuste automático de temperatura según variaciones de flujo en tiempo real
Rendimiento y seguridad
eficiencia de calentamiento ≥95,8%
Protecciones completas con alarmas para:
Anomalías de flujo
Condiciones de sobrecalentamiento
Protección contra funcionamiento en seco
Detección de fugas
Fallo del sensor
Fallos en el circuito del calentador
| Modelo | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Método de calentamiento | Adopta método de calentamiento por radiación infrarroja | |||||
| Rendimiento | Poder | 48kw | 72kw | 96kw | 144KW | 192kw |
| Caudal estándar (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Caudal mínimo de calefacción | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Rango de temperatura ajustable | 20-100℃ | |||||
| Precisión del control de la temperatura | ±1℃ (según las condiciones) | |||||
| Rango de visualización del caudal | 0-60LPM | |||||
| Composición | Calefactor | Tubo de lámpara halógena, método de calefacción indirecto sin contacto con el líquido | ||||
| Material del calentador | Cuarzo transparente de alta pureza | |||||
| Partes en contacto con el líquido y materiales de las tuberías | Cuarzo transparente de alta pureza y tubo PFA de alta pureza | |||||
| Función de respuesta de seguridad | Flujo anormal, alta temperatura, funcionamiento en seco, fugas, desconexión del sensor, fusión del filamento halógeno, etc. | |||||
| Función de comunicación externa | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Función de entrada/salida externa | 8 entradas, 14 señales de salida | |||||
| Otro | Dimensiones exteriores (mm) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| Fuente de alimentación | CA 380V 50/60Hz trifásica de cinco hilos | |||||
