EN
Chauffeur UPW
Stabilité à température : ±0,1℃
Plage de température : -20˚C～+80˚C
Puissance de chauffage ：48KW-192KW
Module de chauffage d'eau ultrapure (UPW) , Conçu pour un contrôle thermique précis lors des processus critiques de fabrication des semi-conducteurs, ce système de chauffage avancé utilise des lampes halogènes encapsulées en quartz de haute pureté pour un chauffage sans contact, garantissant une absence totale de contamination métallique.
- Vue d'ensemble
- Produits recommandés
Domaine d'application
La fabrication de semi-conducteurs : Nettoyage des plaquettes de silicium ou des matériaux composés
Industrie des batteries lithium-ion et photovoltaïque solaire : Systèmes de nettoyage de lignes de production
Industrie des panneaux d'affichage : Nettoyage des substrats en verre LCD
Alternative respectueuse de l'environnement : Remplace le nettoyage au fréon par des solutions d'eau ultra-pure
Caractéristiques principales
Construction en matériaux de première qualité
Éléments chauffants en quartz de haute pureté
Systèmes de tuyauterie en fluororésine
Technologie de chauffage par lampes halogènes sans contact
Conception optimisée pour l'espace
Profil ultra-fin minimisant l'encombrement
Contrôle de température intelligent
Lampes halogènes haute puissance permettant un chauffage rapide
Réglage automatique de la température en fonction des variations de débit en temps réel
Performance & Sécurité
efficacité de chauffage ≥95,8%
Sécurités complètes avec alarmes pour :
Anomalies de débit
Conditions de surchauffe
Protection contre le fonctionnement à sec
Détection de fuites
Défaut du capteur
Pannes du circuit de chauffage
| Modèle | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Méthode de chauffage | Utilisation de la méthode de chauffage par rayonnement infrarouge | |||||
| Performance | Puissance | 48 kW | 72kw | 96kw | 144KW | 192kw |
| Débit standard (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Débit minimum de chauffage | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Plage de température réglable | 20-100℃ | |||||
| Précision de contrôle de la température | ±1℃ (selon les conditions) | |||||
| Plage d'affichage du débit | 0-60LPM | |||||
| Composition | Chauffage | Tube à lampe halogène, méthode de chauffage indirecte sans contact avec le liquide | ||||
| Matériau du chauffage | Quartz transparent à haute pureté | |||||
| Parties en contact avec le liquide et matériaux des canalisations | Quartz transparent à haute pureté et tube PFA à haute pureté | |||||
| Fonction de réponse de sécurité | Débit anormal, température excessive, fonctionnement à sec, fuite, débranchement du capteur, fusion du filament halogène, etc. | |||||
| Fonction de communication externe | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Fonction d'entrée/sortie externe | 8 entrées, 14 sorties | |||||
| Autre | Dimensions extérieures (mm) | 450W*900P *1625H | 450W*1000P *1725H | 700W*1000P *1725H | 700W*1000P *1850H | 800W*1000P *2000H |
| Alimentation | CA 380V 50/60Hz triphasé cinq fils | |||||
