EN
سخان UPW
استقرار درجة الحرارة : ±0.1℃
نطاق درجة الحرارة : -20˚C～+80˚C
قدرة التسخين ：48KW-192KW
وحدة تسخين مياه فوق النقاء (UPW) , مصممة للتحكم الحراري الدقيق في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الحرجة، تستخدم هذه המערכת المتقدمة مصابيح هالوجينية مغلفة بكوادرز عالي النقاء للتسخين غير المتصل، مما يضمن عدم وجود تلوث معدني.
- نظرة عامة
- منتجات موصى بها
نطاق التطبيق
تصنيع أشباه الموصلات : تنظيف رقائق السيليكون أو المواد المركبة
صناعة البطاريات الليثيومية وخلايا الطاقة الشمسية الكهروضوئية : أنظمة تنظيف خطوط الإنتاج
صناعة لوحات العرض : تنظيف substrates زجاج ال سي دي
بديل صديق للبيئة : يحل محل التنظيف المعتمد على الفريون باستخدام حلول مياه فائقة النقاء
الميزات الرئيسية
بناء من مواد عالية الجودة
عناصر التسخين الكوارتزية عالية النقاء
أنظمة أنابيب الفلوروبوليمر
تكنولوجيا التدفئة باستخدام مصابيح الهالوجين غير المتصلة
تصميم مُحسَّن للاستخدام الأمثل للمساحة
تصميم فائق النحافة يقلل من مساحة التثبيت
التحكم الذكي في درجة الحرارة
مصابيح هالوجينية عالية القدرة تتيح التدفئة السريعة
تعديل تلقائي لدرجة الحرارة بناءً على تغيرات التدفق في الوقت الفعلي
الأداء والسلامة
كفاءة تدفئة ≥95.8%
protections شاملة مع إنذارات لـ:
اضطرابات التدفق
ظروف ارتفاع درجة الحرارة
حماية ضد التشغيل الجاف
الكشف عن التسرب
فشل الاستشعار
أعطال في دائرة التسخين
| الطراز | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| طريقة التسخين | اعتماد طريقة التسخين بالإشعاع تحت الحمراء | |||||
| الأداء | طاقة | 48 كيلوواط | 72kw | 96kw | 144KW | 192 كيلوواط |
| معدل التدفق القياسي (△T55℃) | 12 لتر في الدقيقة | 18 لتر/دقيقة | 24 لتر/دقيقة | 36 لتر/دقيقة | 48 لتر/دقيقة | |
| معدل تدفق التدفئة الأدنى | 4-6 لتر/دقيقة | 8-12 لتر/دقيقة | ||||
| نطاق درجة الحرارة المُحددة | 20-100℃ | |||||
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1℃ (يعتمد على الظروف) | |||||
| نطاق عرض التدفق | 0-60 لتر/دقيقة | |||||
| التركيب | سخان | أنبوب مصباح الهالوجين، طريقة تسخين غير مباشرة دون ملامسة السائل | ||||
| مادة السخان | كوارتز شفاف عالي النقاء | |||||
| الأجزاء التي تلامس السائل ومواد الأنابيب | كوارتز شفاف عالي النقاء وأنبوب PFA عالي النقاء | |||||
| وظيفة الاستجابة للأمان | تدفق غير طبيعي، درجة حرارة عالية، حرق جاف، تسرب، انقطاع مستشعر، انصهار خيط الهالوجين، إلخ | |||||
| وظيفة الاتصال الخارجي | RS-232C، RS-485، Modbus TCP/IP | |||||
| وظيفة الإدخال/الإخراج الخارجية | 8 مدخلات، 14 إشارة إخراج | |||||
| أخرى | الأبعاد الخارجية (مم) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| تزويد الطاقة | تيار متردد 380 فولت 50/60 هرتز، ثلاثي الطور خماسي الأسلاك | |||||
