UPW fűtőtest
Hőállapotbeli stabilitás : ±0,1 ℃
Hőmérsékleti tartomány : -20˚C~+80˚C
Fűtőerő :48 KW-192 KW
Ultrapiszkozott víz (UPW) fűtőmodul , Pontos hőszabályozást biztosító kritikus félvezetőgyártási folyamatokhoz tervezett fejlett fűtőrendszer, amely nem érintkező fűtéshez nagytisztaságú kvartzburkolatú halogénlámpákat használ, így garantálva a fémmentességet.
- Áttekintés
- Ajánlott termékek
ALKALMAZÁSI TERÜLET
Félvezetőgyártás : Szilícium lemezek vagy összetett anyagok tisztítása
Lítium akkumulátor és napelem ipar : Termelővonal tisztító rendszerek
Kijelzőpanel ipar : LCD üveg alapanyagok tisztítása
Környezetbarát Alternatíva : A freon alapú tisztítás kicserélése ultra-tiszta víz alapú megoldásokra
Főbb jellemzők
Prémium anyagokból készült konstrukció
Nagyon tiszta kvartz fűtőelemek
Fluorpolimer csővezetékek rendszerei
Nem érintkező halogénlámpás fűtési technológia
Térhasznos tervezés
Ultra vékony profil minimális helyigény
Intelligens hőmérséklet-szabályozás
Nagy teljesítményű halogénlámpák gyors fűtést biztosítanak
Automatikus hőmérséklet-szabályozás valós idejű áramlásváltozások alapján
Teljesítmény és biztonság
≥95,8% fűtési hatásfok
Átfogó védelmi funkciók riasztással:
Áramlási rendellenességek
Túlmelegedési állapotok
Szárazonfutás elleni védelem
Szivárgás észlelés
Szenzorhiba
Fűtőkörhibák
| Modell | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Fűtési Mód | Infravörös sugárzásos fűtési módszer alkalmazása | |||||
| Teljesítmény | Teljesítmény | 48kw | 72kw | 96kw | 144KW | 192kw |
| Szabványos átfolyási sebesség (△T55℃) | 12 LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimális fűtési átfolyási sebesség | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Beállított hőmérsékleti tartomány | 20-100℃ | |||||
| A hőmérséklet-szabályozás pontossága | ±1℃ (A körülményektől függően) | |||||
| Áramlási tartomány | 0-60LPM | |||||
| Összetétel | Fűtő | Halogenlámpa cső, folyadékkal nem érintkező, közvetett fűtési mód | ||||
| Fűtőanyag | Nagytisztaságú átlátszó kvarc | |||||
| Folyadékkal érintkező alkatrészek és csővezeték anyagai | Nagytisztaságú átlátszó kvarc és nagytisztaságú PFA cső | |||||
| Biztonsági válasz funkció | Áramlási hiba, magas hőmérséklet, szárazonfutás, szivárgás, érzékelő leválás, halogén izzószál olvadás stb. | |||||
| Külső kommunikációs funkció | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Külső bemeneti/kimeneti funkció | 8 bemeneti, 14 kimeneti jel | |||||
| Más | Külső méretek (mm) | 450T*900M*1625Mag | 450T*1000M*1725Mag | 700T*1000M*1725Mag | 700T*1000M*1850Mag | 800T*1000M*2000Mag |
| Energiaellátás | AC 380V 50/60Hz háromfázisú ötvezetékes | |||||