EN
UPW Isıtıcısı
Sıcaklık Dayanıklılığı : ±0,1°C
Sıcaklık aralığı : -20˚C～+80˚C
Isıtma Gücü ：48KW-192KW
Ultra Saf Su (UPW) Isıtma Modülü , Kritik yarı iletken üretim süreçlerinde hassas sıcaklık kontrolü için tasarlanan bu gelişmiş ısıtma sistemi, metalik kirliliği sıfır tutmak adına kontaktı olmayan ısıtma sağlayan yüksek saflıklı kuvars kaplı halojen lambalar kullanmaktadır.
- Genel Bakış
- Önerilen Ürünler
Uygulama Kapsamı
Yarım iletken üretimi : Silikon wafer'ların veya bileşik malzemelerin temizlenmesi
Lityum Pil & Güneş PV Endüstrileri : Üretim hattı temizlik sistemleri
Display Panel Endüstrisi : LCD cam substratlarının temizlenmesi
Çevre dostu alternatif : Freon bazlı temizliği ultrapure su çözümleri ile değiştirme
Temel Özellikler
Birinci sınıf malzeme yapısı
Yüksek saflıkta kuvars ısıtma elemanları
Flororesin boru sistemleri
Temas etmeyen halojen lamba ısıtma teknolojisi
Mekan Optimizasyonlu Tasarım
Ultra ince profil, kapladığı alanı en aza indirger
Akıllı Sıcaklık Kontrolü
Yüksek güçlü halojen lambalar hızlı ısıtma sağlar
Gerçek zamanlı akış değişikliklerine göre otomatik sıcaklık ayarı
Performans & Güvenlik
isıtma verimliliği ≥%95,8
Aşağıdakiler için kapsamlı güvenlik önlemleri ve alarm sistemi:
Akış anormallikleri
Aşırı sıcaklık koşulları
Kuru çalışmadan koruma
Kaçak tespiti
Sensör arızası
Isıtıcı devre arızaları
| Model | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Isıtma Yöntemleri | Kızılötesi radyasyon ısıtma yöntemini benimseme | |||||
| Performans | Güç | 48kw | 72kw | 96kW | 144kW | 192kw |
| Standart akış hızı(△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimum ısıtma akış hızı | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Sıcaklık aralığını ayarla | 20-100℃ | |||||
| Sıcaklık kontrol hassasiyeti | ±1℃ (Şartlara bağlı olarak) | |||||
| Debi gösterge aralığı | 0-60LPM | |||||
| Bileşim | Isıtıcı | Halojen lamba tüpü, sıvıya temas etmeden dolaylı ısıtma yöntemi | ||||
| Isıtıcı malzemesi | Yüksek saflıkta şeffaf kuvars | |||||
| Sıvı ile temas eden parçalar ve boru malzemeleri | Yüksek saflıkta şeffaf kuvars ve yüksek saflıkta PFA boru | |||||
| Güvenlik yanıtı fonksiyonu | Anormal akış, yüksek sıcaklık, kuru yanma, sızıntı, sensör bağlantısı kesilmesi, halojen flaman erimesi vb. | |||||
| Harici iletişim fonksiyonu | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Harici giriş/çıkış fonksiyonu | 8 giriş, 14 çıkış sinyali | |||||
| DİĞER | Dış boyutlar ((mm) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| Güç Kaynağı | AC 380V 50/60Hz üç faz beş kablo | |||||
