مبرد قناة مزدوجة

وصف تقني:

مبردات لينغهينغ ذات الدوائر المزدوجة توفر تحكمًا مستقلًا في درجة الحرارة مزدوجًا ضمن وحدة واحدة.
يضم استقرار درجة حرارة ±0,1 درجة مئوية لكل دائرة ، صُمّمت هذه الأنظمة لـ:

تبريد متزامن لغرف PVD/CVD

إدارة حرارية متعددة المناطق في أدوات النقش
مع مساحة أصغر بنسبة 40% وتوافق مثبت في الصناعة (AMAT/LAM/TEL)، فإنها تعيد تعريف التبريد الدقيق الموفر للمساحة.

المزايا الرئيسية:

كفاءة مزدوجة في وحدة واحدة
» يحل محل وحدتي تبريد بدوائر مستقلة
→ توفير 40% من مساحة غرفة التنظيف بالإضافة إلى تقليل 30% في التكاليف الرأسمالية

تحكم مزدوج دقيق
» ±0.1 درجة مئوية استقرار لكل دائرة (ΔT<0. 2℃)
→ يضمن أقل من 3% تباين في سمك الفيلم في عمليات CVD/PVD

تكامل جاهز للمصنع
» بروتوكولات مثبتة مسبقًا من AMAT/LAM/TEL
→ توافق بنسبة 90% مع أدوات 300 مم، وتقليل 65% في وقت التوقف

TwinDrive™ للطاقة
» 35% استهلاك طاقة أقل مقارنة بالأزواج التقليدية
→ معتمد من SEMI S23، وفورات سنوية تزيد عن 18000 دولار

عدم تلوث متبادل نهائي
» مسارات تدفق قابلة للتخصيص  + وصلات ملحومة بالليزر
→ متوافق مع UPW/فلورينرت/EGW

المكونات الأساسية والتشغيل:

مكون	التكنولوجيا
ضاغط	ضاغط إنفرتر محكم مع حماية من دخول السوائل السائلة (±0. 1℃ تحكم)
مكثف	فولاذ مقاوم للصدأ، خسارة حرارية <5%
المبخر	تصميم لوحي، كفاءة أعلى بنسبة 35%، ضوضاء ≤55 ديسيبل
سخان	تسخين مباشر غاطس، تجانس ±0.3 ℃
صمام التوسع	صمام إلكتروني مع تحكم فائق في درجة الحرارة ±1 ℃
المضخة	مضخة مغناطيسية (نسخة السوائل الفلورية)، تذبذب تدفق <2%

مبدأ التبريد:

دورة تبريد PID التكيفية :
1️⃣ ضغط → زيادة ضغط الغاز المبرد
2️⃣ تكثيف → تبديد الحرارة وتحويلها إلى سائل
3️⃣ تضييق EEV → توليد ضغط منخفض
4️⃣ التبخر → امتصاص دقيق للحرارة من المعدات
5️⃣ التحكم في تدفق المحول → يحافظ على ±0. 1استقرار درجة الحرارة (℃)