EN
مبردات قناة واحدة
استقرار درجة الحرارة : ±0.1℃
نطاق درجة الحرارة : -40˚C～+80˚C
قدرة التبريد : -40℃@6 كيلوواط/20℃@25 كيلوواط
يضم التحكم في درجة الحرارة القائم على العاكس ، يعزز هذا النظام الكفاءة في استخدام الطاقة في حين يقلل من استهلاك الطاقة. يوفر استقرار ±0.1 درجة مئوية للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية بما في ذلك:
أدوات التصوير بالنقع في صناعة أشباه الموصلات و CMP (التصنيع الكيميائي الميكانيكي)
أجهزة المختبرات والمعدات الدقيقة للاختبار
الأجهزة الطبية التجميلية والليزر الحالة الصلبة
أنظمة التحكم في درجة حرارة القوالب
- نظرة عامة
- منتجات موصى بها
وصف تقني:
مكيفات لينغهينغ ذات القناة الواحدة توفر إدارة حرارية موجهة بتصميم مدمج متكامل
مصممة ل تبريد دقيق للمعدات المستقلة ، وحداتنا مزودة بتحكم PID بدقة ±0.1 درجة مئوية و
تقنية ضاغط الإنفرتر للتطبيقات الحرجة بما في ذلك:
أدوات قياس أشباه الموصلات
أنظمة المعالجة بالليزر
أجهزة تحليل طبية
تثبيتات منصات الاختبار
منع الدائرة الهوائية المغلقة التلوث المتبادل، في حين تقلل конструкция الخالية من المياه المبردة من تكاليف التركيب بنسبة 30٪.
المزايا الرئيسية:
التميز في التقنيات ذات الحرارة المنخفضة للغاية : يعمل عند درجة حرارة -40℃ مع انتقال حراري يستغرق أقل من 3 دقائق
الدوران بدون خسارة : أنابيب ملحومة بالليزر مع خسارة سائل سنوية تقل عن 0.1%
كفاءة العاكس : توفير 35% في استهلاك الطاقة مقارنة بالطرز ذات السرعة الثابتة (معتمد وفقًا لمعيار SEMI S23)
أداء الديناميكي على المنحدر : تحقيق ±5 درجات مئوية/دقيقة معدلات تغيير درجة الحرارة
تكامل متعدد البروتوكولات : جاهز لبروتوكولات SECS/GEM و OPC-UA لدمج أدوات ASML/TEL/LAM 
المكونات الأساسية والتشغيل
مكون |
التكنولوجيا |
ضاغط |
ضاغط إنفرتر محكم مع حماية من دخول السوائل السائلة (±0. 1℃ تحكم) |
مكثف |
فولاذ مقاوم للصدأ، خسارة حرارية <5% |
المبخر |
تصميم لوحي، كفاءة أعلى بنسبة 35%، ضوضاء ≤55 ديسيبل |
سخان |
تسخين مباشر غاطس، تجانس ±0.3 ℃ |
صمام التوسع |
صمام إلكتروني مع تحكم فائق في درجة الحرارة ±1 ℃ |
المضخة |
مضخة مغناطيسية (نسخة السوائل الفلورية)، تذبذب تدفق <2% |
مبدأ التبريد
دورة تبريد PID التكيفية :
1️⃣ ضغط → زيادة ضغط الغاز المبرد
2️⃣ تكثيف → تبديد الحرارة وتحويلها إلى سائل
3️⃣ تضييق EEV → توليد ضغط منخفض
4️⃣ التبخر → امتصاص دقيق للحرارة من المعدات
5️⃣ التحكم في تدفق المحول → يحافظ على ±0. 1استقرار درجة الحرارة (℃)
| معلمات المنتج VS100/407/020 | |||
| نموذج المنتج | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| طريقة التبريد | تبريد المياه | ||
| وضع التحكم | التحكم في PID | ||
| نطاق السيطرة على درجة الحرارة | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| الدقة | ±0.1℃ | ||
| سعة التبريد |
-20℃@2 كيلوواط -10℃@4 كيلوواط 0℃@6 كيلوواط 20℃@10 كيلوواط 80℃@10 كيلوواط |
-20℃@5 كيلوواط -10℃@10 كيلوواط 0℃@15 كيلوواط 20℃@25 كيلوواط 40℃@25 كيلوواط |
-40 درجة مئوية@6 كيلو واط -20℃@12 كيلوواط 0℃@25 كيلوواط 20℃@25 كيلوواط 40℃@25 كيلوواط |
| طاقة | 3 كيلو واط | ||
| تانك | 20 لتر | 25 لتر | |
| معدل تدفق السائل الدائري | 20 لتر/دقيقة (0.75 ميغاباسكال) | 20 لتر/دقيقة (0.7 ميغاباسكال) | |
| تدفق الماء المبرد (PCW) | 15 لتر/دقيقة @ 15~25 درجة مئوية | 30 لتر/دقيقة @ 15~25°م | 50 لتر/دقيقة @ 15~25°م |
| نطاق درجة الحرارة | 5~35℃ | ||
| أنواع السوائل الدوارة | خليط الإيثلين جلايكول، والماء النقي، والسائل الفلوري | ماء نقي، خليط من الإيثلين جلايكول، ماء خالص، محلول فلوريني | خليط إيثلين جلايكول، سائل فلوري |
| مادة التبريد | R410A | / | / |
| واجهة السائل الدوار | Rc3/4“ | ||
| واجهة PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| الأبعاد الخارجية (ملم) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| مصدر الطاقة المدخلة | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| قوة الآلة | 8 كيلو واط | 9.7KW | 14KW |
| الوزن الصافي | 200 كجم | 210 كجم | 360kg |
| معايير التصميم | شبه | ||
