EN
مبردات CO2
استقرار درجة الحرارة : ±0.1℃
نطاق درجة الحرارة : -20˚C～+80˚C
سعة التبريد : -20℃@2 كيلوواط/20℃@10 كيلوواط
توفير تحكم حراري دقيق من خلال مبردات ضاغطة مدمجة لـ :
تصنيع الرقائق شبه الموصلة واختبارها
اختبار البطاريات/المحرك الكهربائي للطاقة الجديدة
تبريد المعدات الدقيقة
تطبيقات تبريد الهواء الخاصة بالاختبارات
- نظرة عامة
- المنتجات الموصى بها
وصف تقني:
مبرد لينغهينج CO₂ عالي النظافة
الاستفادة من غاز تبريد طبيعي (GWP=1, ODP=0) لتوفير تحكم حراري دقيق ±0.1℃ لعمليات أشباه الموصلات المتقدمة. يمكّن من نطاق تشغيل واسع من -40℃ إلى +100℃ عبر تقنية الدورة فوق الحرجة، متوافق مع التطبيقات الحيوية:
الطباعة الضوئية
نقش
الترسيب بطبقة ذرية (ALD)
مسار تدفق مغلق بالكامل يتوافق مع معايير غرفة نظيفة من الفئة 100، في حين أن تصميم خالٍ من الغازات المفلورية (F-gas) يقلل من التعرض لضرائب الكربون — لتحقيق التميز في العمليات والامتثال لمعايير ESG معًا.
المزايا الرئيسية：
الاستدامة البيئية:
GWP=1 - متوافق تمامًا مع الأهداف المناخية العالمية، ويقلل من التعرض لضرائب الكربون
مبرد طبيعي - يلغي متطلبات استعادة/التخلص من الغازات المفلورة
صفر في مؤشر استنفاد الأوزون (ODP) - متوافق مع اللوائح الدولية (على سبيل المثال، تعديل كيغالي)
±0.1℃ تحكم دقيق - يدعم التقنيات المتقدمة (مطابق لتقنية TSMC 5nm الخالية من المبردات المفلورة)
تشغيل خالي من التلوث - بقايا CO₂ أقل من 1 جزء في المليار، معتمد للمستخدم في غرف التنظيف من الفئة 1000
كفاءة COP أعلى بنسبة 30% - تقنية الدورة العابرة للنقطة الحرجة مع إنفرتر (تم التحقق منه مقارنةً بمرجع LIAT 1.0)
الأداء الأمني:
خالي من السموم وغير قابل للاشتعال - يلغي مخاطر تسرب غاز التبريد المفلور
تقليل مخاطر المصنع - مؤشر خطر بيئي أقل بنسبة 68٪ (وفقاً لمعيار SEMI S10)
المكونات الأساسية والتشغيل:
مكون |
التكنولوجيا |
ضاغط |
ضاغط إنفرتر مغلق مع حماية من دخول السوائل (تحكم ±0.5 درجة مئوية) |
مكثف |
فولاذ مقاوم للصدأ، خسارة حرارية <5% |
المبخر |
لوح تيتانيوم، كفاءة أعلى بنسبة 35٪، مستوى ضجيج ≤55 ديسيبل |
سخان |
تسخين مباشر غاطس، تجانس ±0.3 ℃ |
صمام التوسع |
صمام إلكتروني مع تحكم فائق في درجة الحرارة ±1 ℃ |
مضخة |
مضخة مغناطيسية (نسخة السوائل الفلورية)، تذبذب تدفق <2% |
مبدأ التبريد:
1. الضغط → زيادة ضغط مادة التبريد
2. التكثيف → تبديد الحرارة وتحويلها إلى سائل
3. تقليص صمام التوسع الإلكتروني EEV → إنشاء رذاذ منخفض الضغط
4. التبخر → امتصاص الحرارة بدقة من المعدات
5. التحكم في تدفق المحول → يحافظ على ±0. 1استقرار درجة الحرارة (℃)
| معلمات المنتج GVS010 | معلمات منتج GVS405 | ||
| نموذج المنتج | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| طريقة التبريد |
نوع التبريد المائي |
||
| وضع التحكم |
التحكم في PID |
||
| نطاق السيطرة على درجة الحرارة | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -٢٠°م إلى +٩٠°م |
| الدقة |
±0.1℃ |
||
| سعة التبريد |
-20℃@2 كيلوواط -10℃@4 كيلوواط 0℃@6 كيلوواط 20℃@10 كيلوواط 80℃@10 كيلوواط |
-40℃@4KW |
٤ كيلوواط عند -١٠°م ١٠ كيلوواط عند +٢٠°م |
| الطاقة | 3 كيلو واط | 3 كيلو واط | |
| تانك | 20 لتر | 20 لتر | |
| معدل تدفق السائل الدائري | 20 لتر/دقيقة (0.75 ميغاباسكال) | 20 لتر/دقيقة (0.5 ميجا باسكال) | ٢٠ لتر/دقيقة (٠٫٧ ميجا باسكال) |
| تدفق الماء المبرد (PCW) | 15 لتر/دقيقة @ 15~25 درجة مئوية | ١٥ لتر/دقيقة عند ١٥–٢٥°م وعند ضغط ٠٫٣–٠٫٤ ميجا باسكال | |
| نطاق درجة الحرارة | 5~35℃ | ||
| أنواع السوائل الدوارة | خليط الإيثلين غليكول، ماء نقي، محلول مفلور | ||
| غاز التبريد | R744 (CO2) | ||
| واجهة السائل الدوار |
Rc3/4” |
||
| واجهة PCW | Rc1/2” | Rc1-1/4" | Rc1/2” |
| الأبعاد الخارجية (ملم) | 380W*900D*1250H | 500 × 1160 × 1650 مم |
٦٠٠ × ٩٠٠ × ١٣٠٠ مم (العرض × العمق × الارتفاع) |
| مصدر الطاقة المدخلة | 3Ph,208-220V,50Hz | ثلاثي الطور، ٢٠٨–٢٢٠ فولت، ٥٠/٦٠ هرتز | |
| قوة الآلة | 8 كيلو واط | ١٥٫٤ كيلوواط | |
| الوزن الصافي | 200 كجم | ||
| معايير التصميم | شبه | شبه | SEMI S2، F47 |
