مبرد ثلاثي القنوات

استقرار درجة الحرارة : ±0.1℃

نطاق درجة الحرارة : -40 درجة مئوية إلى +80 درجة مئوية

سعة التبريد : -40 درجة مئوية@6 كيلو واط /20 درجة مئوية@25 كيلو واط
مبرد ضاغط من الدرجة الصناعية مجهز بضواغط من علامة تجارية مميزة لاستقرار استثنائي. يوفر استقرار درجة حرارة ±0.1℃ في المخرج للتطبيقات الحرجة بما في ذلك:

تبريد معدات التصوير الضوئي/النقش

إدارة الحرارة لأدوات الترسيب الفيزيائي من phase vapor deposition (PVD)/chemical vapor deposition (CVD)

التحكم بدرجة حرارة المفاعلات الكيميائية والصيدلانية

تبريد عمليات صيدلانية متوافق مع معايير GMP

نظرة عامة
المنتجات الموصى بها

وصف تقني:

مبردات لينغهينغ ثلاثية الدائرة توفر تبريدًا دقيقًا متعدد الأحمال (±0,1 درجة مئوية) في وحدة واحدة. تتميز بمنافذ إخراج قابلة للتكوين من أجل بيئات مستقرة، وتوفر ما يلي:
✅ التحكم الذكي تشغيل مبرمج، وتعويض تلقائي، وتشخيص ذاتي
✅ حماية ثلاثية إنذارات ارتفاع درجة الحرارة / الإحمال / نقص المياه
✅ الاتصال الصناعي مدخلات/مخرجات، RS232/RS485، إيثرنت/IP
مصممة خصيصًا لأدوات مجموعات أشباع الصناعات الدقيقة وخطوط إنتاج الخلايا الكهروضوئية مع توفير 30٪ في استهلاك الطاقة.

原理图5-英.png

المزايا الرئيسية:

تكامل TripleSync™
» 3 دوائر مستقلة في هيكل واحد
→ تقليل مساحة غرفة التنظيف بنسبة 55%

دقة على مستوى المجموعة
» استقرار ±0.1℃ مع تدرج بين الدوائر أقل من ±0.03℃
→ يمكّن من مزامنة العمليات بين عدة غرف

موازنة الحمل الديناميكية
» توزيع ذكي للتبريد (السعة الكلية 30 كيلوواط)
→ توفير 28% في استهلاك الطاقة عند الأحمال المتغيرة

توافق مع عدة أدوات
» واجهة سريعة مع أدوات ASML/AMAT/TEL المجمعة
→ يدعم مصانع 300 مم وخطوط PV TOPCon

نظام التيتانيوم الفائق النظافة
» مسارات تدفق قابلة للتخصيص مع إغلاق وحداتي
→ بقايا سائل أقل من 0.1 جزء في المليار (مطابق للفئة 10)

结构图.png

المكونات الأساسية والتشغيل:

مكون	التكنولوجيا
ضاغط	ضاغط إنفرتر محكم مع حماية من دخول السوائل السائلة (±0. 1℃ تحكم)
مكثف	فولاذ مقاوم للصدأ، خسارة حرارية <5%
المبخر	تصميم لوحي، كفاءة أعلى بنسبة 35%، ضوضاء ≤55 ديسيبل
سخان	تسخين مباشر غاطس، تجانس ±0.3 ℃
صمام التوسع	صمام إلكتروني مع تحكم فائق في درجة الحرارة ±1 ℃
مضخة	مضخة مغناطيسية (نسخة السوائل الفلورية)، تذبذب تدفق <2%

مبدأ التبريد:

دورة تبريد PID التكيفية :
1️⃣ ضغط → زيادة ضغط الغاز المبرد
2️⃣ تكثيف → تبديد الحرارة وتحويلها إلى سائل
3️⃣ تضييق EEV → توليد ضغط منخفض
4️⃣ التبخر → امتصاص دقيق للحرارة من المعدات
5️⃣ التحكم في تدفق المحول → يحافظ على ±0. 1استقرار درجة الحرارة (℃)

معلمات منتج VT410		VT210-W-32
اسم المنتج	مبرد
نموذج المنتج	VT410-W-33	VT210-W-33
طريقة التبريد	تبريد المياه
وضع التحكم	التحكم في PID
نطاق السيطرة على درجة الحرارة	CH1:-45~+60℃	القناة ١: +١٠°م إلى +٨٠°م

	CH2:+30~+90℃	القناة ٢: +٣٠°م إلى +٩٠°م

	CH3:+10~+55℃	القناة ٣: +٣٠°م إلى +٩٠°م
الدقة	±0.1℃
سعة التبريد	CH1:6 كيلوواط@-40℃	القناة ١: ١٥ كيلوواط عند ٢٠°م

	CH2:30 كيلوواط@+30℃	القناة ٢: ٢٠ كيلوواط عند +٦٠°م

	CH3:28 كيلوواط@+20℃	القناة ٣: ٢٠ كيلوواط عند +٦٠°م
الطاقة	CH1:4 كيلوواط

	CH2:14 كيلوواط

	CH3:4 كيلوواط
تانك	خزان توسيع CH1 / CH2 المشترك 30 لتر + خزان ماء ساخن 25 لتر
تدفق السائل الدائري	CH1:17 لتر/دقيقة @ 0.9 ميغاباسكال	٢٥–٣٠ لتر/دقيقة عند ٠٫٦٥ ميجا باسكال

	CH2:17 لتر/دقيقة @ 0.9 ميغاباسكال

	CH3:25 لتر/دقيقة @ 0.76 ميغاباسكال
تدفق الماء المبرد (PCW)	CH1: 50 لتر/دقيقة@15~25℃@0.3 ميغاباسكال

	CH2: 20 لتر/دقيقة@15~25℃@0.3MPa

	CH3: 50 لتر/دقيقة@15~25℃@0.3MPa
نطاق درجة الحرارة	5~35 درجة مئوية
نوع السائل الدائري	FC3283
واجهة السائل الدوار	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
واجهة PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	القناة ١/القناة ٢/القناة ٣: Rc1-١/٤ بوصة
الأبعاد الخارجية （مم）	600W1370D2000H	1100 واط × 1400 مم × 1600 مم
مصدر الطاقة المدخلة	3Ph,380-400V,50Hz
قوة الآلة الكاملة	41.1 كيلوواط
الوزن الصافي	600 كجم
معايير التصميم	شبه