Enfriador de Tres Canales

Estabilidad a temperatura : ±0,1 ℃

Rango de Temperatura : -40 °C～+80 °C

Capacidad de refrigeración : -40 °C@6 KW /20 °C@25 KW
Refrigerador con compresor de grado industrial equipado con compresores de marca premium para una estabilidad excepcional. Ofrece estabilidad de temperatura de salida ±0,1 ℃ para aplicaciones críticas, incluyendo:

Refrigeración de equipos de fotolitografía/grabado

Gestión térmica de herramientas PVD/CVD

Control de temperatura para reactores químicos y farmacéuticos

Refrigeración de procesos farmacéuticos conforme a normas GMP

Descripción general
Productos recomendados

Descripción técnica:

Enfriadores de triple circuito Lingheng proporcionan un enfriamiento preciso multi-carga (±0,1℃) en una sola unidad. Con salidas configurables para entornos estables, ofrecen:
✅ CONTROL INTELIGENTE : Funcionamiento programado, auto-compensación, autodiagnóstico
✅ Triple seguridad : Alarmas de sobrecalentamiento/sobrecarga y falta de agua
✅ Conectividad Industrial : E/S, RS232/RS485, Ethernet/IP
Diseñado para herramientas de cluster semiconductor y líneas de producción fotovoltaicas con un ahorro energético del 30%.

原理图5-英.png

Principales ventajas:

Integración TripleSync™
» 3 circuitos independientes en un solo chasis
→ 55% reducción de espacio en salas limpias

Precisión de Clase Cluster
» Estabilidad de ±0,1℃ con gradiente intercircuito de <±0,03℃
→ Permite sincronización de procesos en múltiples cámaras

Balanceo Dinámico de Carga
» Asignación inteligente de refrigeración (capacidad total de 30 kW)
→ 28% de ahorro energético en cargas variables

Compatibilidad con Múltiples Herramientas
» Plug-and-play con herramientas de cluster ASML/AMAT/TEL
→ Compatible con fábricas de 300 mm y líneas PV TOPCon

Ecosistema de Titanio Ultralimpio
» Trayectorias de flujo personalizables con sellado modular
→ Residuo de fluido <0,1 ppb (cumple con la Clase 10)

结构图.png

Componentes y Operación Principales:

Componente	TECNOLOGÍA
Compresor	Compresor hermético con protección contra golpes de líquido (±0. 1℃ de control)
Condensador	Acero inoxidable, <5% de pérdida térmica
Evaporador	Diseño tipo placa, 35% mayor eficiencia, ruido ≤55dB
Calefactor	Calentamiento directo sumergido, uniformidad ±0,3℃
Válvula de expansión	Válvula electrónica con control de sobrecalentamiento ±1℃
Bomba	Bomba de accionamiento magnético (versión para fluido fluorinado), fluctuación de flujo <2%

Principio de refrigeración:

Ciclo de refrigeración PID adaptativo :
1️⃣ Compresión → Presurización del refrigerante
2️⃣ Condensación → Disipación de calor y licuefacción
3️⃣ Estrangulamiento por válvula electrónica → Generación de baja presión
4️⃣ Evaporación → Absorción precisa de calor desde el equipo
5️⃣ Control de flujo del inversor → Mantiene la estabilidad de ±0. 1℃

Parámetros del producto VT410
Nombre del producto	El refrigerador
Modelo de producto	VT410-W-33
Método de Enfriamiento	Refrigeración por agua
Modo de control	Control PID
Rango de control de temperatura	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Precisión	±0.1℃
Capacidad de refrigeración	CH1:6KW@-40˚C

	CH2:30KW@+30℃

	CH3:28KW@+20℃
Poder	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
El tanque	CH1 / CH2 depósito de expansión compartido 30L + depósito de agua caliente 25L
Flujo de fluido de circulación	CH1:17 L/min @ 0,9MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
Tráfico PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa
Rango de Temperatura	5~35 ℃
Tipo de fluido circulante	FC3283
Interfaz del líquido circulante	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Interfaz PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"
Dimensiones externas (mm)	600W1370D2000H
Fuente de alimentación	3Ph,380-400V,50Hz
Potencia de toda la máquina	41,1 KW
Peso neto	600 kg de peso
Normas de diseño	Semi