EN
Enfriador de Doble Canal
Estabilidad a temperatura : ±0,1 ℃
Rango de Temperatura : -20˚C～+80˚C
Capacidad de refrigeración : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Sistema de refrigeración preciso de doble circuito ofreciendo el rendimiento de dos enfriadores independientes en una sola unidad. Alcanza estabilidad de ±0,1 ℃ por circuito para aplicaciones críticas en semiconductores:
Control de temperatura de herramientas PVD/CVD
Gestión térmica del proceso de grabado
Compatibilidad demostrada en la industria con equipos AMAT, LAM, AMEC, TEL y otras marcas principales de Fab.
- Descripción general
- Productos recomendados
Descripción técnica:
Enfriadores de Doble Circuito Lingheng ofrecen control de temperatura independiente doble en una sola unidad.
Presentando estabilidad de ±0,1 ℃ por circuito , estos sistemas están diseñados para:
Refrigeración sincronizada de cámaras PVD/CVD
Gestión térmica multizona en herramientas de grabado
Con un 40% menos de espacio ocupado y compatibilidad comprobada en la industria (AMAT/LAM/TEL), redefinen el enfriamiento preciso y eficiente en espacio.
Principales ventajas:
Eficiencia Dos en Uno
» Reemplaza dos enfriadores con circuitos independientes
→ 40% menos espacio requerido en salas limpias + 30% reducción en CAPEX
Control Dual de Precisión
» Estabilidad de ±0,1℃ por circuito (ΔT<0, 2℃)
→ Garantiza una variación del espesor de película <3% en CVD/PVD
Integración Lista para Fábrica
» Protocolos precargados AMAT/LAM/TEL
→ 90% compatibilidad con herramientas de 300mm, 65% menos tiempo de inactividad
Energy TwinDrive™
» 35% menor consumo energético frente a sistemas convencionales
→ Certificado SEMI S23, ahorro anual >$18k
Cero contaminación cruzada
» Trayectorias de flujo personalizables + uniones soldadas con láser
→ Compatible con UPW/fluorinert/EGW 
Componentes y Operación Principales:
Componente |
TECNOLOGÍA |
Compresor |
Compresor hermético con protección contra golpes de líquido (±0. 1℃ de control) |
Condensador |
Acero inoxidable, <5% de pérdida térmica |
Evaporador |
Diseño tipo placa, 35% mayor eficiencia, ruido ≤55dB |
Calefactor |
Calentamiento directo sumergido, uniformidad ±0,3℃ |
Válvula de expansión |
Válvula electrónica con control de sobrecalentamiento ±1℃ |
Bomba |
Bomba de accionamiento magnético (versión para fluido fluorinado), fluctuación de flujo <2% |
Principio de refrigeración:
Ciclo de refrigeración PID adaptativo :
1️⃣ Compresión → Presurización del refrigerante
2️⃣ Condensación → Disipación de calor y licuefacción
3️⃣ Estrangulamiento por válvula electrónica → Generación de baja presión
4️⃣ Evaporación → Absorción precisa de calor desde el equipo
5️⃣ Control de flujo del inversor → Mantiene la estabilidad de ±0. 1℃
| Parámetros del producto VD100 | |
| Modelo de producto | VD100-W-32 |
| Método de Enfriamiento | Refrigeración por agua |
| Modo de control | Control PID |
| Rango de control de temperatura | -20℃~+80℃ |
| Precisión | ±0.1℃ |
| Capacidad de refrigeración |
CH1/ CH2: -20℃@2 KW - 10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Poder |
CH1:3KW CH2:3KW |
| El tanque |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Caudal de líquido circulante |
CH1:20 L/min (0,75 MPa) CH2:20 L/min (0,75 MPa) |
| Tráfico PCW | CH1: 15 L/min@15~25 ℃ CH2: 15 L/min@15~25 ℃ |
| Rango de Temperatura | 5~35℃ |
| Tipos de Fluido de Circulación | Mezcla de glicol de etileno, agua pura, líquido fluorado |
| Refrigerante | R410a |
| Interfaz del líquido circulante | Rc3/4“ x 2 |
| Interfaz PCW | Rc1/2” x 2 |
| Dimensiones externas (mm) | 600W*920D*1300H |
| Fuente de alimentación | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Potencia de la máquina | 16KW |
| peso neto | 350 kg |
| Normas de diseño | Semi |
