EN
Enfriadores de CO2
Estabilidad a temperatura : ±0,1 ℃
Rango de Temperatura : -20˚C～+80˚C
Capacidad de refrigeración : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Proporcionando control térmico preciso mediante enfriadores compactos de compresor para :
Fabricación y pruebas de obleas semiconductores
Validación de baterías de nueva energía/e-motor
Refrigeración de equipos de precisión
Aplicaciones de refrigeración por aire específicas para pruebas
- Descripción general
- Productos recomendados
Descripción técnica:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Utilizando refrigerante natural (GWP=1, ODP=0) para entregar control térmico de precisión ±0.1℃ para procesos avanzados de semiconductores. Permite funcionamiento en rango amplio de -40℃ a +100℃ mediante tecnología de ciclo transcrítico, compatible con aplicaciones críticas:
Fotolitografía
Grabado
Depósito de Capa Atómica (ALD)
Ruta de flujo totalmente sellada cumple con los estándares de salas limpias Clase 100, mientras que Diseño libre de gases fluorados reduce la exposición al impuesto al carbono — logrando excelencia en procesos y cumplimiento ESG.
Ventajas Clave：
Sostenibilidad ambiental:
PCA=1 - Totalmente alineado con las metas climáticas globales, reduciendo la exposición al impuesto al carbono
Refrigerante natural - Elimina los requisitos de recuperación/desecho de gases fluorados
Potencial de agotamiento del ozono cero - Cumple con las regulaciones internacionales (por ejemplo, Enmienda de Kigali)
control de precisión ±0,1 °C - Permite nodos avanzados (TSMC 5nm compatible con la eliminación gradual de refrigerantes fluorados)
Operación libre de contaminación - Residuo de CO₂ <1 ppb, certificado para salas limpias Clase 1000
30 % mayor COP - Tecnología de ciclo transcrítico con inversor (verificado frente a la referencia LIAT 1.0)
Rendimiento de seguridad:
No tóxico y no inflamable - Elimina los riesgos de fugas de refrigerantes fluorados
Reducción fab de riesgo - 68% menor índice de peligro ambiental (por SEMI S10)
Componentes y Operación Principales:
Componente |
TECNOLOGÍA |
Compresor |
Compresor hermético con protección contra líquido (control ±0,5℃) |
Condensador |
Acero inoxidable, <5% de pérdida térmica |
Evaporador |
Placa de titanio, 35% mayor eficiencia, ruido ≤55dB |
Calefactor |
Calentamiento directo sumergido, uniformidad ±0,3℃ |
Válvula de expansión |
Válvula electrónica con control de sobrecalentamiento ±1℃ |
Bomba |
Bomba de accionamiento magnético (versión para fluido fluorinado), fluctuación de flujo <2% |
Principio de refrigeración:
1. Compresión → Presurización del refrigerante
2. Condensación → Disipación de calor y licuefacción
3. Estrangulamiento EEV → Generación de niebla de baja presión
4. Evaporación → Absorción precisa de calor desde el equipo
5. Control de flujo por inversor → Mantiene ±0, 1℃
| Parámetros del producto GVS010 | |
| Modelo de producto | GVS010-W-32F |
| Método de Enfriamiento | Tipo de refrigeración por agua |
| Modo de control | Control PID |
| Rango de control de temperatura | -20℃~+80℃ |
| Precisión | ±0.1℃ |
| Capacidad de refrigeración |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Poder | 3KW |
| El tanque | 20L |
| Caudal de líquido circulante | 20L/min（0.75Mpa） |
| Tráfico PCW | 15 L/min @ 15~25 ℃ |
| Rango de Temperatura | 5~35℃ |
| Tipos de Fluido de Circulación | Mezcla de Etilenglicol, Agua Pura, Solución Fluorada |
| Refrigerante | R744（CO2） |
| Interfaz del líquido circulante | Rc3/4” |
| Interfaz PCW | Rc1/2” |
| Dimensiones externas (mm) | 380W*900D*1250H |
| Fuente de alimentación | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Potencia de la máquina | 8KW |
| peso neto | 200KG |
| Normas de diseño | Semi |
