Kétkanalas hűtőegység

Technikai leírás:

Lingheng Dual-Circuit Chillerek egyetlen egységben két független hőmérséklet-szabályozást biztosítanak.
Melyben ±0,1 ℃ stabilitást áramkörönként , ezeket a rendszereket a következőképpen fejlesztették:

PVD/CVD kamrák szinkronizált hűtése

Többzónás hőkezelés marószerszámokban
40%-kal kisebb helyigény mellett és iparban bevált kompatibilitással (AMAT/LAM/TEL), újraértelmezik a helytakarékos precíziós hűtést.

Főbb előnyök:

Kettő az egyben hatékonyság
» Két független áramkörrel rendelkező hűtőegységeket egyesít egyetlen egységben
→ 40% tisztább tér megtakarítva + 30% kevesebb beruházási költség (CAPEX)

Pontos Duplavezérlés
» ±0,1 ℃ stabilitás áramkörönként (ΔT<0. 2℃)
→ Biztosítja a <3% filmvastagság-ingadozást CVD/PVD esetén

Gyártásra Kész Integráció
» Előre betöltött AMAT/LAM/TEL protokollok
→ 90% 300 mm-es eszközkompatibilitás, 65% kevesebb leállási idő

Energy TwinDrive™
» 35% alacsonyabb energiafogyasztás a hagyományos megoldásokhoz képest
→ SEMI S23 tanúsítvánnyal rendelkezik, évi >18 000 USD megtakarítás

Zérus kereszt-szennyeződés
» Testreszabható áramlási utak  + Lézerhegesztett csatlakozások
→ Kompatibilis UPW/fluorinert/EGW

Alapvető alkatrészek és működés:

CompoNent	TECHNOLOGIA
Kompresszor	Hermetikus inverterkompresszor folyadékütés elleni védelemmel (±0. 1℃ szabályozás)
Kondenszer	Német acél, <5% hőveszteség
Evaporátor	Lemezes kialakítás, 35%-kal nagyobb hatékonyság, ≤55dB zaj
Fűtő	Elmerülő közvetlen fűtés, ±0,3 ℃ egyenletesség
Bővítési csap	Elektronikus szelep ±1 ℃ túlmelegedésszabályozással
Szivattyú	Mágneshajtású szivattyú (fluorid tartalmú folyadék verzió), <2% áramlási ingadozás

Hűtési elv:

Adaptív PID hűtési ciklus :
1️⃣ Sűrítés → Hűtőközeg nyomásnövelés
2️⃣ Kondenzáció → Hőelvezetés és cseppfolyósítás
3️⃣ EEV fojtás → Alacsony nyomás előállítása
4️⃣ Párologtatás → Pontos hőelnyelés az eszközökről
5️⃣ Inverteres áramlásszabályozás → ±0 megtartása 1℃ stabilitás