Háromcsatornás hűtőegység

Hőállapotbeli stabilitás : ±0,1 ℃

Hőmérsékleti tartomány : -40˚C～+80˚C

Hűtőképesség : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
IPari célú kompresszorkészülék hűtőegységgel kiváló minőségű márkakompresszorokkal, amelyek kiváló stabilitást biztosítanak. Teljesítménye ±0,1 ℃-os kimeneti hőmérséklet-stabilitás kritikus alkalmazásokhoz, beleértve:

Fotolitográfia/maratógépek hűtése

PVD/CVD szerszám hőkezelése

Vegyipari és gyógyszeripari reaktor hőmérséklet-szabályozása

GMP szabályoknak megfelelő gyógyszeripari folyamathűtés

Áttekintés
Ajánlott termékek

Technikai leírás:

Lingheng háromkörös hűtők többfunkciós precíziós hűtést (±0,1℃) biztosítanak egyetlen egységben. Konfigurálható kimenetekkel rendelkeznek stabil környezet biztosításához, így nyújtva:
✅ OKOS VEZÉRLÉS programozott üzem, automatikus kompenzáció, öndiagnosztika
✅ Háromszoros biztonság : Túlmelegedés/túlterhelés/vízhiány riasztás
✅ Ipari csatlakozás : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Félvezető klasztereszközökhöz és napelemgyártó sorokhoz tervezve, 30% energiamegtakarítással.

原理图5-英.png

Főbb előnyök:

TripleSync™ integráció
» 3 független áramkör egyetlen házban
→ 55%-os tisztaszoba-terület csökkentés

Klaszterosztályú pontosság
» ±0,1 ℃ stabilitás <±0,03 ℃ közötti áramkörök között
→ Lehetővé teszi a többkamrás folyamat szinkronizálását

Dinamikus terhelés-egyenlítő
» Intelligens hűtéselosztás (összesen 30 kW teljesítmény)
→ 28% energiamegtakarítás változó terhelés esetén

Többfunkciós eszközkompatibilitás
» Plug-and-play ASML/AMAT/TEL fürteszközökkel
→ Támogatja a 300 mm-es gyártósorokat és PV TOPCon vonalakat

Ultratiszta titánium-ökoszisztéma
» Testreszabható áramlási utak moduláris tömítéssel
→ <0,1 ppb folyadékmaradék (Class 10 szabványnak megfelelő)

结构图.png

Alapvető alkatrészek és működés:

CompoNent	TECHNOLOGIA
Kompresszor	Hermetikus inverterkompresszor folyadékütés elleni védelemmel (±0. 1℃ szabályozás)
Kondenszer	Német acél, <5% hőveszteség
Evaporátor	Lemezes kialakítás, 35%-kal nagyobb hatékonyság, ≤55dB zaj
Fűtő	Elmerülő közvetlen fűtés, ±0,3 ℃ egyenletesség
Bővítési csap	Elektronikus szelep ±1 ℃ túlmelegedésszabályozással
Szivattyú	Mágneshajtású szivattyú (fluorid tartalmú folyadék verzió), <2% áramlási ingadozás

Hűtési elv:

Adaptív PID hűtési ciklus :
1️⃣ Sűrítés → Hűtőközeg nyomásnövelés
2️⃣ Kondenzáció → Hőelvezetés és cseppfolyósítás
3️⃣ EEV fojtás → Alacsony nyomás előállítása
4️⃣ Párologtatás → Pontos hőelnyelés az eszközökről
5️⃣ Inverteres áramlásszabályozás → ±0 megtartása 1℃ stabilitás

VT410 Termékparaméterek		VT210-W-32
Termék neve	Fagyasztó
Termékmodell	VT410-W-33	VT210-W-33
Hűtési módszer	Vízhűtés
Irányítási mód	PID szabályozás
Hőszabályzás tartománya	CH1:-45~+60℃	CH1: +10 ℃–+80 ℃

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30 ℃–+90 ℃

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30 ℃–+90 ℃
Pontosság	±0.1℃
Hűtőképesség	CH1:6 kW@-40 ℃	CH1: 15 kW @ 20 °C

	CH2:30 kW@+30 ℃	CH2: 20 kW @ +60 °C

	CH3:28 kW @ +20 ℃	CH3: 20 kW @ +60 °C
Teljesítmény	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Tartály	CH1 / CH2 közös tágulási tartály 30 L + melegvíztartály 25 L
Keringetett folyadék árama	CH1:17 L/perc @ 0,9 MPa	25–30 l/perc @ 0,65 MPa

	CH2:17 L/perc @ 0,9 MPa

	CH3:25 L/perc @ 0,76 MPa
PCW forgalom	CH1: 50 L/perc@15~25℃@0,3 MPa

	CH2: 20 L/perc@15~25℃@0,3 MPa

	CH3: 50 L/perc@15~25℃@0,3 MPa
Hőmérsékleti tartomány	5~35 ℃
Cirkulációs folyadék típusa	FC3283
Cirkulációs folyadék csatlakozás	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW csatlakozás	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4"
Külső méretek （mm）	600W1370M2000M	1100 mm szélesség × 1400 mm mélység × 1600 mm magasság
Bemeneti tápegység	3Fázisú, 380-400V, 50Hz
Teljes gép teljesítménye	41,1 kW
Nettó súly	600 Kg
Tervezési szabványok	Fél