EN
Háromcsatornás hűtőegység
Hőállapotbeli stabilitás : ±0,1 ℃
Hőmérsékleti tartomány : -40˚C～+80˚C
Hűtőképesség : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
IPari célú kompresszorkészülék hűtőegységgel kiváló minőségű márkakompresszorokkal, amelyek kiváló stabilitást biztosítanak. Teljesítménye ±0,1 ℃-os kimeneti hőmérséklet-stabilitás kritikus alkalmazásokhoz, beleértve:
Fotolitográfia/maratógépek hűtése
PVD/CVD szerszám hőkezelése
Vegyipari és gyógyszeripari reaktor hőmérséklet-szabályozása
GMP szabályoknak megfelelő gyógyszeripari folyamathűtés
- Áttekintés
- Ajánlott termékek
Technikai leírás:
Lingheng háromkörös hűtők többfunkciós precíziós hűtést (±0,1℃) biztosítanak egyetlen egységben. Konfigurálható kimenetekkel rendelkeznek stabil környezet biztosításához, így nyújtva:
✅ OKOS VEZÉRLÉS programozott üzem, automatikus kompenzáció, öndiagnosztika
✅ Háromszoros biztonság : Túlmelegedés/túlterhelés/vízhiány riasztás
✅ Ipari csatlakozás : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Félvezető klasztereszközökhöz és napelemgyártó sorokhoz tervezve, 30% energiamegtakarítással.
Főbb előnyök:
TripleSync™ integráció
» 3 független áramkör egyetlen házban
→ 55%-os tisztaszoba-terület csökkentés
Klaszterosztályú pontosság
» ±0,1 ℃ stabilitás <±0,03 ℃ közötti áramkörök között
→ Lehetővé teszi a többkamrás folyamat szinkronizálását
Dinamikus terhelés-egyenlítő
» Intelligens hűtéselosztás (összesen 30 kW teljesítmény)
→ 28% energiamegtakarítás változó terhelés esetén
Többfunkciós eszközkompatibilitás
» Plug-and-play ASML/AMAT/TEL fürteszközökkel
→ Támogatja a 300 mm-es gyártósorokat és PV TOPCon vonalakat
Ultratiszta titánium-ökoszisztéma
» Testreszabható áramlási utak moduláris tömítéssel
→ <0,1 ppb folyadékmaradék (Class 10 szabványnak megfelelő)
Alapvető alkatrészek és működés:
CompoNent |
TECHNOLOGIA |
Kompresszor |
Hermetikus inverterkompresszor folyadékütés elleni védelemmel (±0. 1℃ szabályozás) |
Kondenszer |
Német acél, <5% hőveszteség |
Evaporátor |
Lemezes kialakítás, 35%-kal nagyobb hatékonyság, ≤55dB zaj |
Fűtő |
Elmerülő közvetlen fűtés, ±0,3 ℃ egyenletesség |
Bővítési csap |
Elektronikus szelep ±1 ℃ túlmelegedésszabályozással |
Szivattyú |
Mágneshajtású szivattyú (fluorid tartalmú folyadék verzió), <2% áramlási ingadozás |
Hűtési elv:
Adaptív PID hűtési ciklus :
1️⃣ Sűrítés → Hűtőközeg nyomásnövelés
2️⃣ Kondenzáció → Hőelvezetés és cseppfolyósítás
3️⃣ EEV fojtás → Alacsony nyomás előállítása
4️⃣ Párologtatás → Pontos hőelnyelés az eszközökről
5️⃣ Inverteres áramlásszabályozás → ±0 megtartása 1℃ stabilitás
| VT410 Termékparaméterek | |
| Termék neve | Fagyasztó |
| Termékmodell | VT410-W-33 |
| Hűtési módszer | Vízhűtés |
| Irányítási mód | PID szabályozás |
| Hőszabályzás tartománya | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Pontosság | ±0.1℃ |
| Hűtőképesség | CH1:6 kW@-40 ℃ |
| CH2:30 kW@+30 ℃ | |
| CH3:28 kW @ +20 ℃ | |
| Teljesítmény | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Tartály | CH1 / CH2 közös tágulási tartály 30 L + melegvíztartály 25 L |
| Keringetett folyadék árama | CH1:17 L/perc @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/perc @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/perc @ 0,76 MPa | |
| PCW forgalom | CH1: 50 L/perc@15~25℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/perc@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/perc@15~25℃@0,3 MPa | |
| Hőmérsékleti tartomány | 5~35 ℃ |
| Cirkulációs folyadék típusa | FC3283 |
| Cirkulációs folyadék csatlakozás | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW csatlakozás | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Külső méretek （mm） |
600W*1370M*2000M |
| Bemeneti tápegység | 3Fázisú, 380-400V, 50Hz |
| Teljes gép teljesítménye | 41,1 kW |
| Nettó súly | 600 Kg |
| Tervezési szabványok | Fél |
