EN
CO2 hűtők
Hőállapotbeli stabilitás : ±0,1 ℃
Hőmérsékleti tartomány : -20 °C～+80 °C
Hűtőképesség : -20 ℃@2 KW/20 ℃@10 KW
Precíziós hőszabályozást nyújtva kompakt kompresszoros hűtőkkel :
Félvezető lemezgyártás és tesztelés
Új energia akkumulátor\/hajtás ellenőrzés
Pontos berendezés hűtés
Teszt-specifikus levegő-hűtési alkalmazások
- Áttekintés
- Ajánlott termékek
Technikai leírás:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean hűtő
Felhasználás természetes hűtőközeg (GWP=1, ODP=0) hogy eljuttassuk ±0,1 ℃ pontos hőmérséklet-szabályozás haladó félvezető gyártási folyamatokhoz. Lehetővé teszi -40 ℃ -tól +100 ℃-ig terjedő széleskörű működés transzcritikus ciklus technológiával, kompatibilis missziósan kritikus alkalmazásokkal:
Fotolitográfia
Etching
Atomrételképződés (ALD)
Teljesen zárt áramlási út megfelel a Class 100 tisztatéri szabványnak, miközben F-gáz mentes kialakítás csökkenti a szénadó-kockázatot – így elérhető a folyamattal szemben támasztott magas követelmény és az ESG-szabályozásoknak való megfelelés is.
Fő előnyök：
Környezetvédelmi fenntarthatóság:
GWP=1 - Teljes mértékben összhangban van a globális klímavédelmi célokkal, csökkenti a szénadó-kockázatot
Természetes hűtőközeg - Kiküszöböli a fluoridtartalmú gázok visszanyerésének és megsemmisítésének szükségességét
Nulla ODP - Megfelel a nemzetközi szabályozásoknak (pl. Kigali Módosítás)
±0,1 ℃ pontos szabályozás - Lehetővé teszi a fejlett csomópontokat (TSMC 5 nm fluorid hűtőközeg kivezetésének megfelelő)
Szennyeződésmentes üzemeltetés - CO₂ maradék <1 ppb, tanúsítva Class 1000 tisztatérhez
30%-kal magasabb COP - Transzcritikus körfolyamat inverter technológia (LIAT 1.0 alapvonalhoz képest ellenőrizve)
Biztonsági teljesítmény:
Nem toxikus és nem gyúlékony - Kiküszöböli a fluorid hűtőközegek szivárgási kockázatát
Gyártási kockázat csökkentés - 68%-kal alacsonyabb környezeti veszélyindex (SEMI S10 szerint)
Alapvető alkatrészek és működés:
CompoNent |
TECHNOLOGIA |
Kompresszor |
Hermetikus inverteres kompresszor folyadékbecsapódási védelemmel (±0,5 ℃ szabályozás) |
Kondenszer |
Német acél, <5% hőveszteség |
Evaporátor |
Titánlemez típusú, 35%-kal magasabb hatásfok, ≤55 dB zajszint |
Fűtő |
Elmerülő közvetlen fűtés, ±0,3 ℃ egyenletesség |
Bővítési csap |
Elektronikus szelep ±1 ℃ túlmelegedésszabályozással |
Szivattyú |
Mágneshajtású szivattyú (fluorid tartalmú folyadék verzió), <2% áramlási ingadozás |
Hűtési elv:
1. Sűrítés → Hűtőközeg nyomásnövelése
2. Kondenzáció → Hőelvezetés és cseppfolyósítás
3. EEV fojtás → Alacsony nyomású permetlétre alakítás
4. Párologtatás → Pontos hőelvonás a berendezésektől
5. Inverteres áramlásszabályozás → ±0,1 ℃ pontossággal tartja 1℃ stabilitás
| GVS010 Termékparaméterek | GVS405 termékparaméterek | ||
| Termékmodell | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Hűtési módszer |
Vízhűtéses hűtési mód |
||
| Irányítási mód |
PID szabályozás |
||
| Hőszabályzás tartománya | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 ℃–+90 ℃ |
| Pontosság |
±0.1℃ |
||
| Hűtőkapacitás |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW –10 ℃-nál 10 kW +20 ℃-nál |
| Teljesítmény | 3kw | 3kw | |
| Tartály | 20L | 20L | |
| Keringtető folyadék áramlási sebessége | 20L/min (0,75 MPa) | 20 l/perc (0,5 MPa) | 20 l/perc (0,7 MPa) |
| PCW forgalom | 15 L/perc @ 15~25 °C | 15 l/perc 15–25 ℃ között, 0,3–0,4 MPa nyomáson | |
| Hőmérsékleti tartomány | 5~35℃ | ||
| Cirkulációs folyadék típusai | Etilénglikol keverék, Tiszta víz, Fluorozott oldat | ||
| Hűtőanyag | R744 (CO2) | ||
| Cirkulációs folyadék csatlakozás |
Rc3/4” |
||
| PCW csatlakozás | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Külső méretek (mm) | 380T*900M*1250F | 500 mm × 1160 mm × 1650 mm |
600 szélesség × 900 mélység × 1300 magasság (mm) |
| Bemeneti tápegység | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 fázisú, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Géperejének teljesítménye | 8KW | 15,4 kW | |
| nettó súly | 200 kg | ||
| Tervezési szabványok | Fél | Fél | SEMI S2, F47 |
