Pendingin Saluran Berkembar

Penerangan teknikal:

Pendingin Lingheng Dwikutub menyediakan kawalan suhu dwikutub bebas dalam satu unit tunggal.
Menampilkan kestabilan ±0.1℃ per litar , sistem-sistem ini direka bentuk untuk:

Penyejukan segerak bagi kamar PVD/CVD

Pengurusan haba berbilang zon dalam alat pengukir
Dengan jejak kaki 40% lebih kecil dan keserasian yang telah terbukti dalam industri (AMAT/LAM/TEL), mereka mentakrifkan semula penyejukan tepat yang menjimatkan ruang.

Kelebihan utama:

Kecakapan Dua-dalam-Satu
» Menggantikan pendingin dwikutub dengan litar bebas
→ 40% ruang bilik bersih dijimatkan + 30% pengurangan CAPEX

Kawalan Dua Kepersisan
» ±0.1℃ kestabilan setiap litar (ΔT<0. 2℃)
→ Memastikan <3% ketebalan filem berbeza dalam CVD/PVD

Pengintegrasian Sedia-Fab
» Protokol pramuat AMAT/LAM/TEL
→ 90% keserasian alat 300mm, 65% kurang gangguan

Tenaga TwinDrive™
» 35% kurang tenaga berbanding pasangan konvensional
→ Bersijil SEMI S23, jimat tahunan >$18k

Tiada Kontaminasi Silang
» Laluan aliran boleh disesuaikan  + Sambungan kimpalan laser
→ Serasi dengan UPW/fluorinert/EGW

Komponen Utama & Operasi:

Komponen	Teknologi
Pemampat	Pemampat inverter hermetik dengan perlindungan terhadap kejutan cecair (±0. 1kawalan ℃)
Pengekondensor	Keluli nirkarat, kehilangan haba <5%
Penyusun hawa	Reka bentuk jenis plat, kecekapan 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB
Pemanas	Pemanasan langsung terendam, keseragaman ±0.3℃
Kawalan peluasan	Injap elektronik dengan kawalan lampau panas ±1℃
Pam	Pam Mag-drive (versi cecair berfluorinasi), fluktuasi aliran <2%

Prinsip Penyejukan:

Kitar Penyejukan PID Boleh Laras :
1️⃣ Pemampatan → Peningkatan tekanan bahan penyejuk
2️⃣ Kondensasi → Penyebaran haba & pengewapan
3️⃣ Pengekang EEV → Menjana tekanan rendah
4️⃣ Penyejatan → Penyerapan haba secara tepat dari peralatan
5️⃣ Kawalan aliran suis frekuensi → Mengekalkan kestabilan ±0. 1℃