EN
Pendingin Saluran Tunggal
Kestabilan Suhu : ±0.1℃
Julat suhu : -40˚C～+80˚C
Kapasiti penyejukan : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Menampilkan kawalan suhu berpangkalan inverter , sistem ini meningkatkan kecekapan tenaga sambil mengurangkan penggunaan kuasa. Menyampaikan kestabilan ±0.1℃ untuk aplikasi yang memerlukan ketepatan termasuk:
Peralatan pengikisan semikonduktor & CMP (Pemolesen Kimia Mekanikal)
Instrumen makmal & peralatan ujian berketepatan tinggi
Peralatan perubatan estetika & laser keadaan pepejal
Sistem kawalan suhu acuan
- Gambaran Keseluruhan
- Produk Disyorkan
Penerangan teknikal:
Pendingin Lingheng Saluran Tunggal menyediakan pengurusan terma yang berfokus dengan reka bentuk padat terkamir.
Direka untuk penyejukan tepat untuk peralatan bebas , unit kami mempunyai kawalan PID ±0.1℃ dan
teknologi pemampat inverter untuk aplikasi kritikal termasuk:
Peralatan metrologi semikonduktor
Sistem pemprosesan laser
Penganalisis perubatan
Persediaan meja ujian
Litar cecair terasing menghalang pencemaran silang, manakala pembinaan tanpa PCW mengurangkan kos pemasangan sebanyak 30%.
Kelebihan utama:
Keunggulan Kriogenik : Beroperasi pada -40℃ dengan peralihan suhu <3minit
Peredaran Tanpa Kehilangan : Paip berkelim dengan kehilangan cecair tahunan <0.1%
Kecekapan Inverter : Menjimatkan 35% tenaga berbanding model kelajuan tetap (bersijil SEMI S23)
Prestasi Cerun Dinamik : Mencapai kadar perubahan suhu ±5℃/min
Penggabungan Berbilang Protokol : Bersedia SECS/GEM & OPC-UA untuk penggabungan alat ASML/TEL/LAM 
Komponen Utama & Operasi
Komponen |
Teknologi |
Pemampat |
Pemampat inverter hermetik dengan perlindungan terhadap kejutan cecair (±0. 1kawalan ℃) |
Pengekondensor |
Keluli nirkarat, kehilangan haba <5% |
Penyusun hawa |
Reka bentuk jenis plat, kecekapan 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanasan langsung terendam, keseragaman ±0.3℃ |
Kawalan peluasan |
Injap elektronik dengan kawalan lampau panas ±1℃ |
Pam |
Pam Mag-drive (versi cecair berfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Penyejukan
Kitar Penyejukan PID Boleh Laras :
1️⃣ Pemampatan → Peningkatan tekanan bahan penyejuk
2️⃣ Kondensasi → Penyebaran haba & pengewapan
3️⃣ Pengekang EEV → Menjana tekanan rendah
4️⃣ Penyejatan → Penyerapan haba secara tepat dari peralatan
5️⃣ Kawalan aliran suis frekuensi → Mengekalkan kestabilan ±0. 1℃
| PARAMETER PRODUK VS100/407/020 | |||
| Model Produk | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Kaedah Penyejukan | Penyejukan air | ||
| Mod kawalan | Kawalan PID | ||
| Julat kawalan suhu | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Kejituan | ±0.1℃ | ||
| Kapasiti penyejukan |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
| Kuasa | 3KW | ||
| Tangki | 20L | 25L | |
| Kadar aliran cecair beredar | 20L/min（0.75Mpa） | 20L/min(0.7Mpa) | |
| Lalu Lintas PCW | 15L/min@15~25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Julat suhu | 5~35℃ | ||
| Jenis Cecair Beredar | Campuran etilena glikol, air tulen, cecair berfluorinasi | Air jernih, Campuran etilena glikol, Air tulen, Larutan berfluorinasi | Campuran etilena glikol, cecair berfluorinasi |
| Bahan penyejuk | R410a | / | / |
| Antara Muka Cecair Beredar | Rc3/4“ | ||
| Antara Muka PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Dimensi luaran（mm） | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Bekalan kuasa input | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Kuasa Mesin | 8kw | 9.7KW | 14KW |
| berat Bersih | 200kg | 210KG | 360kg |
| Standard reka bentuk | Separuh | ||
