EN
Chladiče s CO2
Stabilita teploty : ±0,1 °C
Teplotný rozsah : -20 °C až +80 °C
Chladiaci výkon : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Zabezpečuje presnú termálnu reguláciu prostredníctvom kompaktných chladičov s kompresorom pre :
Výroba a testovanie polovodičových waferov
Validácia batérií a pohonov v oblasti novej energie
Chladenie presnostných zariadení
Aplikácie chladenia vzduchom pre špecifické testy
- Prehľad
- Odporúčané produkty
Technický popis:
Lingheng CO₂ ultračistý chladič
Využívanie prirodzený chladivý plyn (GWP=1, ODP=0) doručiť ±0,1 ℃ presné termálne riadenie pre pokročilé polovodičové procesy. Umožňuje -40 °C až +100 °C s širokým rozsahom prevádzky prostredníctvom technológie transkritického cyklu, kompatibilné s kritickými aplikáciami:
Fotolitografia
Fazúrovanie
Depozícia atómovej vrstvy (ALD)
Úplne uzatvorená cesta toku spĺňa štandardy čistých priestorov trieda 100, pričom Konštrukcia bez F-plynov zníža daňové riziko uhlíka – dosahuje vynikajúcu výrobnú kvalitu aj dodržiavanie ESG.
Kľúčové výhody:
Ekologická udržateľnosť:
GWP=1 - Plne v súlade s globálnymi klimatickými cieľmi, zníženie rizika karbonovej meny
Prírodný chladivý prostriedok - Eliminuje požiadavky na obnovu/likvidáciu fluorovaných plynov
Nulový ODP - V súlade s medzinárodnými predpismi (napr. Kigalská pozmeňujúca a doplňujúca návrh)
±0,1 ℃ presné riadenie - Umožňuje pokročilé uzly (TSMC 5nm v súlade s vylúčením fluorovaného chladivého prostriedku)
Prevádzka bez kontaminácie - Zvyšok CO₂ <1 ppb, certifikované pre čisté miestnosti triedy 1000
30 % vyšší COP - Technológia invertorového cyklu v nadkritickom režime (overené v porovnaní s verziou LIAT 1.0)
Bezpečnostný výkon:
Nekonzervatívne a nehorľavé - Eliminuje riziko úniku fluorovaných chladív
Zníženie výrobného rizika - 68 % nižší index environmentálneho rizika (podľa SEMI S10)
Základné komponenty a prevádzka:
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Hermetický invertorový kompresor s ochranou proti tekutému nárazu (±0,5 ℃ regulácia) |
Kondenzátor |
Nerezová oceľ, <5% tepelné straty |
Odparovač |
Titaniový platňový, 35 % vyššia účinnosť, hluk ≤55 dB |
Ohrievač |
Priame ponorné ohrevanie, rovnomernosť ±0,3℃ |
Expanzný ventil |
Elektronický ventil s riadením nadbytočného tepla ±1℃ |
Pompový systém |
Čerpadlo s magnetickým pohonom (verzia s fluoridovou kvapalinou), <2% kolísanie prietoku |
Chladiaci princíp:
1. Stláčanie → Zvýšenie tlaku chladiva
2. Kondenzácia → Odvod tepla a skvapalnenie
3. Tlmenie EEV → Generovanie nízkotlakového snehu
4. Vyparovanie → Presné odoberanie tepla z vybavenia
5. Riadenie prietoku pomocou invertora → Udržiava ±0. 1℃ stabilita
| Parametre produktu GVS010 | Parametre produktu GVS405 | ||
| Typ produktu | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Metóda chladenia |
Vodou chladený spôsob chladenia |
||
| Režim ovládania |
PID regulácia |
||
| Rozsah regulácie teploty | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | –20 °C až +90 °C |
| Presnosť |
±0.1℃ |
||
| Chladiaci výkon |
-20 °C pri 2 kW -10 °C pri 4 kW 0 °C pri 6 kW 20 °C pri 10 kW 80 °C pri 10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW pri –10 °C 10 kW pri +20 °C |
| Sila | 3KW | 3KW | |
| Nádrž | 20L | 20L | |
| Prietok cirkulujúcej kvapaliny | 20 l/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 l/min (0,7 MPa) |
| Obiehajúca vodná sieť (PCW) | 15L/min@15~25℃ | 15 l/min pri 15 – 25 °C a 0,3 – 0,4 MPa | |
| Teplotný rozsah | 5~35℃ | ||
| Typy cirkulačnej kvapaliny | Zmes etylénglykolu, čistá voda, fluórovaný roztok | ||
| Chladivo | R744 (CO2) | ||
| Rozhranie obiehajúcej kvapaliny |
Rc3/4” |
||
| Rozhranie PCW | Rc1/2” | Rc1–1/4″ | Rc1/2” |
| Vonkajšie rozmery (mm) | 380W*900D*1250H | 500 šírka × 1160 hĺbka × 1650 výška |
600 Š × 900 H × 1300 V (mm) |
| Vstupné napájanie | 3Ph,208-220V,50Hz | 3-fázové, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Moc stroja | 8KW | 15,4 kW | |
| čistá hmotnosť | 200 kg | ||
| Štandardy dizajnu | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
