EN
Jednokanálové chladiče
Stabilita teploty : ±0,1 °C
Teplotný rozsah : -40˚C až +80˚C
Chladiaci výkon : -40 °C@6 kW/20 °C@25 kW
So zameraním na teplotné riadenie na báze invertora , táto sústava zvyšuje energetickú účinnosť a znižuje spotrebu energie. Poskytuje ±0,1 °C stabilita pre aplikácie vyžadujúce presnosť, ako napríklad:
Polovodičové leptacie nástroje a CMP (chemicko-mechanické leštenie)
Laboratórne prístroje a vysokopresné testovacie zariadenia
Estetické lekárske zariadenia a pevnolátkové lasery
Systémy riadenia teploty formy
- Prehľad
- Odporúčané produkty
Technický popis:
Lingheng jednokanálové chladiče poskytujú cieľavedomé termálne riadenie v kompaktnom integrovanom dizajne.
Vytvorené pre presné chladenie samostatných zariadení , naše jednotky majú PID reguláciu ±0,1 ℃ a
inverzná kompresorová technológia pre kritické aplikácie vrátane:
Nástroje na metrológiu polovodičov
Laserové spracovateľské systémy
Lekárske analyzátory
Nastavenie skúšobných stanovíšť
Izolovaný hydraulický okruh zabraňuje krížovému kontaminácii, zatiaľ čo konštrukcia bez PCW zníži inštalačné náklady o 30 %.
Kľúčové výhody:
Kryogénne vynikajúce vlastnosti : Prevádzka pri -40 °C s prechodovou teplotou <3 minúty
Cirkulácia bez strát : Potrubie zvárané laserom s ročnou stratou kvapaliny <0,1 %
Efektivita invertera : 35 % úspora energie oproti modelom s pevnou rýchlosťou (certifikované SEMI S23)
Dynamický výkon rampy : Dosahuje rýchlosť zmeny teploty ±5 °C/min
Integrácia viacerých protokolov : Pripravené na integráciu ASML/TEL/LAM nástrojov so SECS/GEM & OPC-UA 
Základné komponenty a prevádzka
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Hermetický invertorový kompresor s ochranou proti tekutej vložke (±0. 1℃ riadenie) |
Kondenzátor |
Nerezová oceľ, <5% tepelné straty |
Odparovač |
Platňový dizajn, o 35 % vyššia účinnosť, ≤55 dB hluku |
Ohrievač |
Priame ponorné ohrevanie, rovnomernosť ±0,3℃ |
Expanzný ventil |
Elektronický ventil s riadením nadbytočného tepla ±1℃ |
Čerpadlo |
Čerpadlo s magnetickým pohonom (verzia s fluoridovou kvapalinou), <2% kolísanie prietoku |
Chladničkový princíp
Adaptívny chladničkový cyklus PID :
1️⃣ Stláčanie → Zvýšenie tlaku chladiva
2️⃣ Kondenzácia → Odvod tepla a zkapalnenie
3️⃣ Tlmenie pomocou EEV → Vytvorenie nízkeho tlaku
4️⃣ Vyparovanie → Presné odoberanie tepla od zariadenia
5️⃣ Regulácia prietoku pomocou invertora → Udržiava ±0. 1℃ stabilita
| Parametre produktu VS100/407/020 | |||
| Typ produktu | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Metóda chladenia | Vodné chladenie | ||
| Režim ovládania | PID regulácia | ||
| Rozsah regulácie teploty | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Presnosť | ±0.1℃ | ||
| Chladiaci výkon |
-20 °C pri 2 kW -10 °C pri 4 kW 0 °C pri 6 kW 20 °C pri 10 kW 80 °C pri 10 kW |
-20 °C@5 kW -10 °C@10 kW 0 °C@15 kW 20 °C@25 kW 40 °C@25 kW |
-40 °C pri 6 kW -20℃@12 kW 0℃@25 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
| Sila | 3KW | ||
| Nádrž | 20L | 25L | |
| Prietok cirkulujúcej kvapaliny | 20 l/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,7 MPa) | |
| Obiehajúca vodná sieť (PCW) | 15L/min@15~25℃ | 30 l/min@15~25℃ | 50 l/min@15~25℃ |
| Teplotný rozsah | 5~35℃ | ||
| Typy cirkulačnej kvapaliny | Zmes etylénglykolu, destilovaná voda, fluorovaná kvapalina | Čistá voda, Zmes etylénglykolu, Destilovaná voda, Fluorovaný roztok | Zmes etylénglykolu, fluorovaná kvapalina |
| Chladivo | R410A | / | / |
| Rozhranie obiehajúcej kvapaliny | Rc3/4“ | ||
| Rozhranie PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Vonkajšie rozmery (mm) | 380W*900D*1300H | 420Š*900H*1250V | 500Š*1150H*1500V |
| Vstupné napájanie | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Moc stroja | 8KW | 9,7 kW | 14KW |
| čistá hmotnosť | 200 kg | 210 kg | 360kg |
| Štandardy dizajnu | Semi | ||
