Dvojkanálový chladič

Technický popis:

Lingheng dvojokruhové chladiče poskytujú dve nezávislé teplotné riadenia v jednom zariadení.
So zameraním na ±0,1℃ stabilita na okruh tieto systémy sú navrhnuté pre:

Synchronizované chladenie PVD/CVD komôr

Viaczónne riadenie teploty v nástrojoch na leptanie
S 40 % menšou plochou a overenou kompatibilitou v oblasti (AMAT/LAM/TEL) definujú efektívne využitie priestoru pri presnom chladení.

Kľúčové výhody:

Dvojzáruková efektívnosť
» Nahradzuje dvojité chladiče nezávislými okruhmi
→ 40 % úspory priestoru v čistých miestnostiach + 30 % zníženie kapitálových nákladov

Presné dvojité riadenie
» Stabilita ±0,1 °C na okruh (ΔT<0, 2℃)
→ Zabezpečuje <3 % variáciu hrúbky filmu pri CVD/PVD

Integrácia pripravená pre výrobu
» Predinštalované protokoly AMAT/LAM/TEL
→ 90 % kompatibilita s nástrojmi 300 mm, 65 % nižšia odstávka

Energy TwinDrive™
» 35 % nižšia spotreba energie oproti konvenčným pарам
→ Certifikované podľa SEMI S23, úspory > 18 000 USD ročne

Žiadne krížové kontaminácie
» Prispôsobiteľné tokové cesty  + zvary spojov laserom
→ Kompatibilné s UPW/fluorinert/EGW

Základné komponenty a prevádzka:

Komponent	TECHNOLOGIA
Kompresor	Hermetický invertorový kompresor s ochranou proti tekutej vložke (±0. 1℃ riadenie)
Kondenzátor	Nerezová oceľ, <5% tepelné straty
Odparovač	Platňový dizajn, o 35 % vyššia účinnosť, ≤55 dB hluku
Ohrievač	Priame ponorné ohrevanie, rovnomernosť ±0,3℃
Expanzný ventil	Elektronický ventil s riadením nadbytočného tepla ±1℃
Pompový systém	Čerpadlo s magnetickým pohonom (verzia s fluoridovou kvapalinou), <2% kolísanie prietoku

Chladiaci princíp:

Adaptívny chladničkový cyklus PID :
1️⃣ Stláčanie → Zvýšenie tlaku chladiva
2️⃣ Kondenzácia → Odvod tepla a zkapalnenie
3️⃣ Tlmenie pomocou EEV → Vytvorenie nízkeho tlaku
4️⃣ Vyparovanie → Presné odoberanie tepla od zariadenia
5️⃣ Regulácia prietoku pomocou invertora → Udržiava ±0. 1℃ stabilita