EN
Trojkanálový chladič
Stabilita teploty : ±0,1 °C
Teplotný rozsah : -40 °C až +80 °C
Chladiaci výkon : -40 °C pri 6 kW /20℃@25 KW
Priemyselný chladič s kompresorom vybavený kompresormi známych značiek pre mimoriadnu stabilitu. Poskytuje ±0,1℃ stabilitu teploty výstupu pre kritické aplikácie vrátane:
Chladenie fotolitografických/gravírovacieho zariadenia
Termálne riadenie nástrojov PVD/CVD
Regulácia teploty chemických a farmaceutických reaktorov
Farmaceutické chladenie v súlade s GMP
- Prehľad
- Odporúčané produkty
Technický popis:
Lingheng trojokruhové chladiče poskytujú presné chladenie viacerých záťaží (±0,1 ℃) v jedinom zariadení. Vďaka konfigurovateľným výstupom pre stabilné prostredie ponúkajú:
✅ INTELIGENTNÁ KONTROLA : Plánovaný prevádzka, automatická kompenzácia, samo-diagnostika
✅ Trojitá bezpečnosť : Poplachy pri prehriatí/preťažení/nedostatku vody
✅ Priemyselná pripojiteľnosť : Vstupy/výstupy, RS232/RS485, Ethernet/IP
Navrhnuté pre polovodičové zhlukové nástroje a výrobné linky pre výrobu fotovoltických panelov s úsporou energie až 30 %.
Kľúčové výhody:
Integrácia TripleSync™
» 3 nezávislé okruhy v jednom module
→ 55 % redukcia priestoru v čistých miestnostiach
Presnosť na úrovni klastra
» Stabilita ±0,1 °C s medziokruhovým gradientom <±0,03 °C
→ Umožňuje synchronizáciu procesov v viac komorách
Dynamické vyvažovanie nákladu
» Inteligentné rozdeľovanie chladenia (celková kapacita 30 kW)
→ 28 % úspora energie pri variabilných záťažiach
Kompatibilita s viacerými nástrojmi
» Plug-and-play s nástrojmi ASML/AMAT/TEL
→ Podporuje fabriky s 300mm wafermi a PV TOPCon linkami
Ultraclean Titanium Ecosystem
» Prispôsobiteľné cesty prúdenia s modulárnym tesnením
→ <0,1 ppb tekutého zvyšku (v súlade s normou Class 10)
Základné komponenty a prevádzka:
Komponent |
TECHNOLOGIA |
Kompresor |
Hermetický invertorový kompresor s ochranou proti tekutej vložke (±0. 1℃ riadenie) |
Kondenzátor |
Nerezová oceľ, <5% tepelné straty |
Odparovač |
Platňový dizajn, o 35 % vyššia účinnosť, ≤55 dB hluku |
Ohrievač |
Priame ponorné ohrevanie, rovnomernosť ±0,3℃ |
Expanzný ventil |
Elektronický ventil s riadením nadbytočného tepla ±1℃ |
Pompový systém |
Čerpadlo s magnetickým pohonom (verzia s fluoridovou kvapalinou), <2% kolísanie prietoku |
Chladiaci princíp:
Adaptívny chladničkový cyklus PID :
1️⃣ Stláčanie → Zvýšenie tlaku chladiva
2️⃣ Kondenzácia → Odvod tepla a zkapalnenie
3️⃣ Tlmenie pomocou EEV → Vytvorenie nízkeho tlaku
4️⃣ Vyparovanie → Presné odoberanie tepla od zariadenia
5️⃣ Regulácia prietoku pomocou invertora → Udržiava ±0. 1℃ stabilita
| Parametre produktu VT410 | |
| Názov produktu | Chladič |
| Typ produktu | VT410-W-33 |
| Metóda chladenia | Vodné chladenie |
| Režim ovládania | PID regulácia |
| Rozsah regulácie teploty | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Presnosť | ±0.1℃ |
| Chladiaci výkon | CH1:6 kW pri -40 °C |
| CH2:30 kW pri +30 °C | |
| CH3:28 kW pri +20 ℃ | |
| Sila | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Nádrž | Zdieľaná expanzná nádoba CH1 / CH2 30 L + nádoba na teplú vodu 25 L |
| Obiehajúci teplovodný tok | CH1:17 L/min pri 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min pri 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min pri 0,76 MPa | |
| Obiehajúca vodná sieť (PCW) | CH1: 50 L/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa |
| CH2: 20 l/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa | |
| CH3: 50 l/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa | |
| Teplotný rozsah | 5~35 ℃ |
| Typ cirkulujúcej kvapaliny | FC3283 |
| Rozhranie obiehajúcej kvapaliny | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Rozhranie PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Vonkajšie rozmery (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Vstupné napájanie | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Celkový výkon zariadenia | 41,1 kW |
| Čistá hmotnosť | 600 kg |
| Štandardy dizajnu | Semi |
