Trojkanálový chladič

Stabilita teploty : ±0,1 °C

Teplotný rozsah : -40 °C až +80 °C

Chladiaci výkon : -40 °C pri 6 kW /20℃@25 KW
Priemyselný chladič s kompresorom vybavený kompresormi známych značiek pre mimoriadnu stabilitu. Poskytuje ±0,1℃ stabilitu teploty výstupu pre kritické aplikácie vrátane:

Chladenie fotolitografických/gravírovacieho zariadenia

Termálne riadenie nástrojov PVD/CVD

Regulácia teploty chemických a farmaceutických reaktorov

Farmaceutické chladenie v súlade s GMP

Prehľad
Odporúčané produkty

Technický popis:

Lingheng trojokruhové chladiče poskytujú presné chladenie viacerých záťaží (±0,1 ℃) v jedinom zariadení. Vďaka konfigurovateľným výstupom pre stabilné prostredie ponúkajú:
✅ INTELIGENTNÁ KONTROLA : Plánovaný prevádzka, automatická kompenzácia, samo-diagnostika
✅ Trojitá bezpečnosť : Poplachy pri prehriatí/preťažení/nedostatku vody
✅ Priemyselná pripojiteľnosť : Vstupy/výstupy, RS232/RS485, Ethernet/IP
Navrhnuté pre polovodičové zhlukové nástroje a výrobné linky pre výrobu fotovoltických panelov s úsporou energie až 30 %.

原理图5-英.png

Kľúčové výhody:

Integrácia TripleSync™
» 3 nezávislé okruhy v jednom module
→ 55 % redukcia priestoru v čistých miestnostiach

Presnosť na úrovni klastra
» Stabilita ±0,1 °C s medziokruhovým gradientom <±0,03 °C
→ Umožňuje synchronizáciu procesov v viac komorách

Dynamické vyvažovanie nákladu
» Inteligentné rozdeľovanie chladenia (celková kapacita 30 kW)
→ 28 % úspora energie pri variabilných záťažiach

Kompatibilita s viacerými nástrojmi
» Plug-and-play s nástrojmi ASML/AMAT/TEL
→ Podporuje fabriky s 300mm wafermi a PV TOPCon linkami

Ultraclean Titanium Ecosystem
» Prispôsobiteľné cesty prúdenia s modulárnym tesnením
→ <0,1 ppb tekutého zvyšku (v súlade s normou Class 10)

结构图.png

Základné komponenty a prevádzka:

Komponent	TECHNOLOGIA
Kompresor	Hermetický invertorový kompresor s ochranou proti tekutej vložke (±0. 1℃ riadenie)
Kondenzátor	Nerezová oceľ, <5% tepelné straty
Odparovač	Platňový dizajn, o 35 % vyššia účinnosť, ≤55 dB hluku
Ohrievač	Priame ponorné ohrevanie, rovnomernosť ±0,3℃
Expanzný ventil	Elektronický ventil s riadením nadbytočného tepla ±1℃
Pompový systém	Čerpadlo s magnetickým pohonom (verzia s fluoridovou kvapalinou), <2% kolísanie prietoku

Chladiaci princíp:

Adaptívny chladničkový cyklus PID :
1️⃣ Stláčanie → Zvýšenie tlaku chladiva
2️⃣ Kondenzácia → Odvod tepla a zkapalnenie
3️⃣ Tlmenie pomocou EEV → Vytvorenie nízkeho tlaku
4️⃣ Vyparovanie → Presné odoberanie tepla od zariadenia
5️⃣ Regulácia prietoku pomocou invertora → Udržiava ±0. 1℃ stabilita

Parametre produktu VT410		VT210-W-32
Názov produktu	Chladič
Typ produktu	VT410-W-33	VT210-W-33
Metóda chladenia	Vodné chladenie
Režim ovládania	PID regulácia
Rozsah regulácie teploty	CH1:-45~+60℃	CH1: +10 °C až +80 °C

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30 °C až +90 °C

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30 °C až +90 °C
Presnosť	±0.1℃
Chladiaci výkon	CH1:6 kW pri -40 °C	CH1: 15 kW pri 20 °C

	CH2:30 kW pri +30 °C	CH2: 20 kW pri +60 °C

	CH3:28 kW pri +20 ℃	CH3: 20 kW pri +60 °C
Sila	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Nádrž	Zdieľaná expanzná nádoba CH1 / CH2 30 L + nádoba na teplú vodu 25 L
Obiehajúci teplovodný tok	CH1:17 L/min pri 0,9 MPa	25 l–30 l/min pri 0,65 MPa

	CH2:17 L/min pri 0,9 MPa

	CH3:25 L/min pri 0,76 MPa
Obiehajúca vodná sieť (PCW)	CH1: 50 L/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa

	CH2: 20 l/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa

	CH3: 50 l/min pri 15~25 ℃ pri 0,3 MPa
Teplotný rozsah	5~35 ℃
Typ cirkulujúcej kvapaliny	FC3283
Rozhranie obiehajúcej kvapaliny	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Rozhranie PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4″
Vonkajšie rozmery (mm)	600W1370D2000H	1100 W × 1400 D × 1600 H
Vstupné napájanie	3Ph,380-400V,50Hz
Celkový výkon zariadenia	41,1 kW
Čistá hmotnosť	600 kg
Štandardy dizajnu	Semi