EN
Ohrievací systém
Stabilita teploty : ±0. 5℃
Tento výrobok má nasledujúce materiály na výber podľa skutočných potrieb:
Silikónová pena Materic
Plný PTFE Materic
Potah z PTFE Materic
Rozšírený PTFE Materic
- Prehľad
- Odporúčané produkty
Technický popis:
Systém vyhrievacej bundy udržiava presnú teplotu v systéme dodávania vákua/plynu
v rámci pokročilých výrobných procesov. Špeciálne navrhnutý pre odvetvovo špecifické
požiadavky, zabraňuje neúplnému kondenzovaniu reakčných látok a usadzovaniu vedľajších produktov
na vnútorných stenách rúr - čo je kritické pre predchádzanie prekážaniu toku a zníženiu účinnosti výfuku
v polovodičových vákuových/výfukových systémoch. Skladá sa z troch hlavných komponentov:
Vykurovacie plášte (návrhy špecifické pre jednotlivé trate)
PID regulátory (stabilita ±0,5 ℃)
Ovládacie skrine s HMI
toto riešenie umožňuje sledovanie a riadenie teploty potrubia v reálnom čase pre plynové potrubia zo zirkónovej ocele.
Aplikácie vyhrievacieho plášťa :
1. Plynové rozvody
Nebezpečné technologické plyny :
Borový trochlorid (BCl₃), Chlorín trifluorid (ClF₃), Tetraetyl ortokremičitan (TEOS)
Dichlórkarbonyl (DCS/SiH₂Cl₂), Wolfrám hexafluorid (WF₆)
Validácia procesu vyhrievanie plynových rúr pre kontrolu rosného bodu a predchádzanie kondenzácii
2. CVD procesy
Nízkotlaková chemická depozícia z plynnej fázy (LPCVD)
Plazmou podporovaná CVD (PECVD)
Funkcia: Stabilizácia teploty predného pary (±1℃)
3. Kovové leptanie
Systémy plazmového leptania :
Leptanie hliníka (chemikálie Cl₂/BCl₃)
Leptanie volfrámu (zmesi SF₆/WF₆)
Funkcia: Udržiavanie konzistentnej reaktivity plynu
Výhody vyhrievacej bundy:
Kategória výhod |
Technické charakteristiky |
Presná kontrola |
stabilita ±0,5℃ prostredníctvom PID regulátorov (certifikované podľa ISO 15805) |
Záruka bezpečnosti |
Dvojité bezpečnostné západky: |
Eko-izolácia |
Izolačná vrstva bez PFAS: |
|
Sledovanie elektrického prúdu v reálnom čase: |
PID regulátory teploty
Systém vykurovacieho plášťa využíva PID regulátory teploty pre presnú tepelnú reguláciu, pričom každý regulátor pracuje na samostatnom úseku zbernice RS485 s jedinečnou sieťovou adresáciou. Tieto PID jednotky fungujú ako samostatné riadiace moduly, ale aj ako integrované uzly v rámci distribuovanej sieťovej architektúry. Prostredníctvom rozhraní RS485 využívajúcich protokol Modbus RTU všetky regulátory komunikujú obojsmerne s centrálnou riadiacou skrinkou HMI, čo umožňuje synchronizované riadenie teploty v viacerých zónach a agregáciu údajov v reálnom čase bez nutnosti použitia centrálneho PLC.
Hmi ovládací panel
Inštalácia vykurovacích plášťov a PID regulátorov teploty na vakuové alebo plynové potrubia je relatívne decentralizovaná, čo znemožňuje efektívne monitorovanie rebrúch teplotných hodnôt a prevádzkového stavu všetkých vykurovacích plášťov súčasne. Aby bolo možné zabezpečiť rebrú monitoring všetkých stavov vykurovacích plášťov, implementovali sme ovládací panel HMI, ktorý všetky vykurovacie plášte konsoliduje do jediného systému, čím sa dosiahne centrálna kontrola a komunikačný manažment.
Centrálny monitorovací systém
Všetky rozhrania – vrátane obrazoviek na monitorovanie, rebrúch zobrazovaní alarmov, historických záznamov alarmov, záznamov udalostí, grafov trendov alebo výkazov – je možné nakonfigurovať v hlavnom systéme (s využitím SCADA platforiem ako InTouch alebo iFix) na komplexné monitorovanie systému vykurovacích plášťov.
Výhody systému:
• Zvýšená efektívnosť manažmentu - Zlepšuje celkovú prevádzkovú výkonnosť
• Zjednodušená údržba - Znižuje prevádzkovú a údržbovú zložitosť
• Optimalizácia nákladov - Znižuje náklady na inštaláciu, prevádzku a rozšírenie
• Sledovanie cez zariadenia - Umožňuje vzájomné sledovanie medzi viacerými počítačmi
• Zdieľanie zdrojov - Umožňuje centralizované využitie diskových zdrojov
• Zálohovanie s redundanciou - Poskytuje funkciu vzájomného zálohovania
• Upozornenia na poplach cez viacero kanálov - Podporuje výzvy/hovory a e-mailové notifikácie
• Komplexná analýza údajov - Umožňuje vyhľadávanie historických údajov a grafické znázornenie trendov
• Automatické správy - Generuje systémové správy automaticky
• Správa siete - Umožňuje centrálnu správu monitorovacieho systému
| VNÚTORNÁ LÁTOKA | PTFE Teflónová látka |
| Ohrevový prvok | PTFE niklovokrómový elektrický vyhrievací článok |
| Izolácia | Vysokokapacitný silikónový vlákenný filtre |
| Materiál vonkajšej látky | PTFE Teflónová látka |
| Pevná spona | Protipožiarne a tepelne odolné lepidlo Velcro |
