EN
CO2 Soğutucular
Sıcaklık Dayanıklılığı : ±0,1°C
Sıcaklık aralığı : -20˚C～+80˚C
Soğutma kapasitesi : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Hassas termal kontrolü kompakt kompresörlü soğutucular aracılığıyla sağlayarak :
Yarı iletken wafer imalatı & testi
Yeni enerji bataryası/e-motor doğrulama
Hassas ekipman soğutma
Teste özel hava soğutma uygulamaları
- Genel Bakış
- Önerilen Ürünler
Teknik açıklama:
Lingheng CO₂ Ultra-Temiz Soğutucu
Kullanmak doğal soğutucu (GWP=1, ODP=0) sunmak ±0,1℃ hassas sıcaklık kontrolü i̇leri yarı iletken süreçleri için. Sağlar -40℃ ila +100℃ geniş aralıkta çalışma geçiş öncesi çevrim teknolojisi aracılığıyla, kritik uygulamalarla uyumlu:
Fotolitografi
Oyma
Atom Katmanı Biriktirme (ALD)
Tamamen kapatılmış akış yolu class 100 temiz oda standartlarına uygunken F-gaz içermeyen tasarım karbon vergisi riskini azaltır — süreç mükemmelliği ve ESG uygunluğu sağlar.
Temel Avantajlar：
Çevre sürdürülebilirliği:
GWP=1 - Küresel iklim hedefleriyle tam uyumlu, karbon vergisi riskini azaltır
Doğal soğutucu gaz - Florlanmış gazların geri kazanım/imha gerekliliklerini ortadan kaldırır
Sıfır ODP - Uluslararası düzenlemelere uyumlu (örneğin, Kigali Değişikliği)
±0,1 °C hassasiyet kontrolü - İleri seviye yongaları destekler (TSMC 5nm florlanmış soğutucu akışkan kullanımından vazgeçi uyumlu)
Kirlenmeden çalışma - CO₂ kalıntısı <1 ppb, Sınıf 1000 temiz oda sertifikalı
%30 daha yüksek COP - Transkritik çevrimli inverter teknolojisi (LIAT 1.0 temel çizgisine göre doğrulandı)
Güvenlik Performansı:
Toksisiz ve yanmaz - Florlanmış soğutucu akışkan sızıntısı riskini ortadan kaldırır
İmalat riskinin azaltılması - Çevresel tehlike indeksinde %68 daha az düşüş (SEMI S10'a göre)
Temel Bileşenler & İşletim:
Bileşen |
TEKNOLOJİ |
Kompresör |
Sıvı darbesi korumalı (±0,5℃ kontrol) tamamen sızdırmaz kompresör |
Kondensatör |
Paslanmaz çelik, %5'ten düşük termal kayıp |
Buharlaştırıcı |
Titanyum plaka tipi, %35 daha yüksek verim, ≤55dB gürültü |
Isıtıcı |
Daldırmalı doğrudan ısıtma, ±0,3 ℃ üniformluk |
Genleşme vanası |
Elektronik valf ile ±1 ℃ aşırı ısınma kontrolü |
Pompa |
Manyetik tahrikli pompa (florlanmış sıvı versiyonu), %2'den düşük debi dalgalanması |
Soğutma Prensibi:
1. Sıkıştırma → Soğutucu gazın basınçlandırılması
2. Yoğunlaşma → Isı atılması ve sıvılaşma
3. EEV (Elektronik Genleşme Vanası) kısıflaması → Düşük basınçlı buhar üretimi
4. Buharlaşma → Ekipmandan hassas ısı emilimi
5. İnvertör debi kontrolü → ±0 korur. 1℃ sabitliği
| GVS010 Ürün Parametreleri | GVS405 Ürün Parametreleri | ||
| Ürün Modeli | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Soğutma Yöntemi |
Su soğutmalı soğutma tipi |
||
| Kontrol modu |
PID kontrolü |
||
| Sıcaklık kontrol aralığı | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ ila +90℃ |
| Hassasiyet |
±0.1℃ |
||
| Soğutma kapasitesi |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW @ -10℃ 10 kW @ +20℃ |
| Güç | 3kw | 3kw | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Sirküle sıvı debisi | 20L/dk (0,75Mpa) | 20 L/dk (0,5 MPa) | 20 L/dk (0,7 MPa) |
| PCW trafiği | 15L/dk@15~25℃ | 15 L/dk @ 15–25 ℃, 0,3–0,4 MPa | |
| Sıcaklık aralığı | 5~35℃ | ||
| Dolaşım Sıvısı Türleri | Etilen Glikol Karışımı, Saf Su, Florlanmış Çözelti | ||
| Soğutucu | R744 (CO2) | ||
| Dolaşım sıvısı arayüzü |
Rc3/4” |
||
| PCW arayüzü | RC1/2” | Rc1-1/4” | RC1/2” |
| Dış boyutlar (mm) | 380W*900D*1250H | 500 G x 1160 D x 1650 Y |
600 G × 900 D × 1300 Y (mm) |
| Giriş gücü kaynağı | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 Faz, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Makine gücü | 8kw | 15,4 kW | |
| net ağırlık | 200 kilo | ||
| Tasarım Standartları | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
