Isıtmalı Ceket Sistemi

Teknik açıklama:

Isıtma Yeleği Uygulamaları :

1. Gaz Dağıtım Hatları

Tehlikeli Proses Gazları :
Bor Trichloride (BCl₃), Klorin Trifluoride (ClF₃), Tetraetil Ortosilika (TEOS)
Diklorosilan (DCS/SiH₂Cl₂), Tungsten Hekzaflorür (WF₆)
Süreç doğrulaması nokta kontrolü ve yoğuşmayı önleme için gaz hattı ısıtması

2. CVD Prosesleri

Alçak Basınç Kimyasal Buhar Biriktirme (LPCVD)
Plazma Destekli CVD (PECVD)
Fonksiyon: Öncü buhar sıcaklığının stabilizasyonu (±1℃)

3. Metal Aşındırma

Plazma oyuma sistemleri :
Alüminyum Aşındırma (Cl₂/BCl₃ kimyasalları)
Tungsten Aşındırma (SF₆/WF₆ karışımları)
Fonksiyon: Gaz reaktivitesinin tutarlılığını koruma

Isıtma Ceket Avantajları:

Avantaj Kategorisi	Teknik özellikleri
Hassas kontrol	pID kontrolörler aracılığıyla ±0,5℃ stabilite (ISO 15805 sertifikalı)
Güvenlik Taşıyan	Çift güvenlik kilidi: • KSD30 termostat • Termal sigorta (IEC 60691 uyumlu)
Eko-Yalıtım	PFAS içermeyen yalıtım katmanı: • Isı kaybı %5'ten az (ISO 8301) • Paslanmaz çelik zarif kasa
Akıllı İzleme	Gerçek zamanlı akım izleme: • Bölgeye göre akım değerleri → HMI/SCADA • MODBUS-TCP veri kaydı

PID sıcaklık kontrol cihazları

Isıtma Ceket sistemi, hassas sıcaklık kontrolü için PID sıcaklık kontrol cihazlarını kullanır ve her bir kontrol cihazı, benzersiz ağ adreslemesine sahip özel bir RS485 veri yolu segmentinde hem tek başına kontrol modülleri hem de dağınık ağ mimarisi içinde entegre düğümler olarak çalışır. Tüm kontrol cihazları, RS485 arayüzleri üzerinden Modbus RTU protokolünü kullanarak merkezi HMI kontrol dolabına çift yönlü iletişim sağlar ve merkezi bir PLC'ye ihtiyaç duymadan senkronize çok bölgeli sıcaklık yönetimi ve gerçek zamanlı veri toplamayı mümkün kılar.

Hmi kontrol paneli

Boşluk veya gaz hatlarında kullanılan ısıtma ceketlerinin ve PID sıcaklık kontrol cihazlarının kurulumu oldukça dağınık yapıda olduğundan, tüm ısıtma ceketlerinin gerçek zamanlı sıcaklıklarını ve çalışma durumlarını aynı anda etkili bir şekilde izlemek mümkün olmamaktadır. Tüm ısıtma ceketlerinin durumunu gerçek zamanlı izleyebilmek amacıyla, tüm ısıtma ceketlerini tek bir platformda toplayan, merkezileştirilmiş kontrol ve iletişim yönetimini gerçekleştiren bir HMI kontrol paneli uygulaması gerçekleştirdik.

Merkezileştirilmiş İzleme Sistemi

İzleme ekranları, gerçek zamanlı alarm görüntüleri, geçmişe dönük alarm kayıtları, olay geçmişi kayıtları, trend analiz grafikleri ve rapor formları da dahil olmak üzere tüm arayüzler, Isıtma Ceketi sisteminin kapsamlı bir şekilde izlenmesini sağlamak amacıyla SCADA platformları (InTouch veya iFix gibi) kullanılarak ana sistemde yapılandırılabilir.