Çift Kanallı Soğutucu Cihaz

Teknik açıklama:

Lingheng Çift Devreli Soğutucular tek bir birimde çift bağımsız sıcaklık kontrolü sağlar.
...veya ±0,1℃ devre başına stabilite , bu sistemler şu amaçlar doğrultusunda tasarlanmıştır:

PVD/CVD odalarının senkronize soğutulması

Kazım araçlarında çok bölgeli termal yönetim
Yüzde 40 daha küçük taban alanı ve sektörde kanıtlanmış uyumluluk (AMAT/LAM/TEL) ile alan kullanımını verimli şekilde yeniden tanımlar.

Ana avantajları:

İkisi Bir Arada Verimlilik
» Bağımsız devrelerle gelen iki soğutucuyu tek bir cihazla değiştirir
→ Temiz oda alanı %40 tasarrufu + Yatırım maliyeti %30 azalma

Hassas Çift Kontrol
» Devre başına ±0,1°C stabilite (ΔT<0. 2℃)
→ CVD/PVD içinde film kalınlığı değişimi %3'ten az

Fabrikaya Uygun Entegrasyon
» Önceden yüklenmiş AMAT/LAM/TEL protokolleri
→ 300mm cihaz uyumluluğu %90, durma süresi %65 azalma

Energy TwinDrive™
» Geleneksel çiftlere göre %35 daha düşük enerji tüketimi
→ SEMI S23 sertifikalı, yılda >18.000$ tasarruf

Sıfır Çapraz Bulaşma
» Özelleştirilebilir akış yolları  + Lazer kaynaklı eklemeler
→ UPW/fluorinert/EGW ile uyumlu

Temel Bileşenler & İşletim:

Bileşen	TEKNOLOJİ
Kompresör	Sıvı slugging korumalı hermetik inverter kompresör (±0. 1℃ kontrolü)
Kondensatör	Paslanmaz çelik, %5'ten düşük termal kayıp
Buharlaştırıcı	Plaka tipi tasarım, %35 daha yüksek verim, ≤55 dB gürültü
Isıtıcı	Daldırmalı doğrudan ısıtma, ±0,3 ℃ üniformluk
Genleşme vanası	Elektronik valf ile ±1 ℃ aşırı ısınma kontrolü
Pompa	Manyetik tahrikli pompa (florlanmış sıvı versiyonu), %2'den düşük debi dalgalanması

Soğutma Prensibi:

Adaptif PID Soğutma Döngüsü :
1️⃣ Sıkıştırma → Soğutucu akışkan basıncı artışı
2️⃣ Kondensasyon → Isı atımı ve sıvılaşma
3️⃣ EEV daralması → Düşük basınç üretimi
4️⃣ Buharlaşma → Cihazdan hassas ısı emme
5️⃣ İnvertör akış kontrolü → ±0'ı korur. 1℃ sabitliği