Üç Kanallı Soğutucu Cihaz
Sıcaklık Dayanıklılığı : ±0,1°C
Sıcaklık aralığı : -40˚C~+80˚C
Soğutma kapasitesi : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Endüstriyel sınıf kompresörlü soğutma cihazı özel marka kompresörler ile üstün kararlılık sağlar. Teslim eder ±0,1℃ çıkış sıcaklığı kararlılığı kritik uygulamalar için, bunlar şunlardır:
Foto litografi/asma ekipman soğutma
PVD/CVD alet termal yönetimi
Kimyasal ve eczacılık reaktör sıcaklık kontrolü
GMP'ye uyumlu eczacılık süreç soğutması
- Genel Bakış
- Önerilen Ürünler
Teknik açıklama:
Lingheng Üç Devreli Soğutucular tek bir birimde çoklu yük hassas soğutma (±0,1℃) sağlar. Sabit ortamlar için yapılandırılabilir çıkışlar sunar:
✅ AKILLI KONTROL : Zamanlanmış çalışma, otomatik kompanzasyon, kendini tanıma
✅ Üçlü Güvenlik : Aşırı ısınma/aşırı yükleme/su eksikliği alarmı
✅ Endüstriyel Bağlantı : G/Ç, RS232/RS485, Ethernet/IP
%30 enerji tasarrufu ile yarı iletken cluster cihazları ve PV üretim hatları için tasarlandı.

Ana avantajları:
TripleSync™ Entegrasyon
» Tek chassis içinde 3 bağımsız devre
→ Temiz oda kullanım alanında %55 azalma
Cluster Sınıfı Hassasiyet
» ±0.1℃ stabilite ve <±0.03℃ arası devre gradyanı
→ Çok odalı süreç senkronizasyonunu sağlar
Dinamik Yük Dengeleme
» Akıllı soğutma dağıtımı (Toplam 30kW kapasite)
→ Değişken yüklerde %28 enerji tasarrufu
Çoklu Araç Uyumluluğu
» ASML/AMAT/TEL cluster araçları ile tak çalıştır
→ 300mm fabrikalarını ve PV TOPCon hatlarını destekler
Ultrateman Titanyum Ekosistemi
» Modüler sızdırmazlık ile özelleştirilebilir akış yolları
→ %0,1ppb sıvı kalıntısı (Class 10 uyumlu)

Temel Bileşenler & İşletim:
Bileşen |
TEKNOLOJİ |
Kompresör |
Sıvı slugging korumalı hermetik inverter kompresör (±0. 1℃ kontrolü) |
Kondensatör |
Paslanmaz çelik, %5'ten düşük termal kayıp |
Buharlaştırıcı |
Plaka tipi tasarım, %35 daha yüksek verim, ≤55 dB gürültü |
Isıtıcı |
Daldırmalı doğrudan ısıtma, ±0,3 ℃ üniformluk |
Genleşme vanası |
Elektronik valf ile ±1 ℃ aşırı ısınma kontrolü |
Pompa |
Manyetik tahrikli pompa (florlanmış sıvı versiyonu), %2'den düşük debi dalgalanması |
Soğutma Prensibi:
Adaptif PID Soğutma Döngüsü :
1️⃣ Sıkıştırma → Soğutucu akışkan basıncı artışı
2️⃣ Kondensasyon → Isı atımı ve sıvılaşma
3️⃣ EEV daralması → Düşük basınç üretimi
4️⃣ Buharlaşma → Cihazdan hassas ısı emme
5️⃣ İnvertör akış kontrolü → ±0'ı korur. 1℃ sabitliği

| VT410 Ürün Parametreleri | |
| Ürün Adı | Soğutucu |
| Ürün Modeli | VT410-W-33 |
| Soğutma Yöntemi | Su-soğutması |
| Kontrol modu | PID kontrolü |
| Sıcaklık kontrol aralığı | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Hassasiyet | ±0.1℃ |
| Soğutma kapasitesi | CH1:6KW@-40˚C |
| CH2:30KW@+30℃ | |
| CH3:28KW@+20℃ | |
| Güç | CH1:4KW |
| CH2:14KW | |
| CH3:4KW | |
| Tank | CH1 / CH2 paylaşımlı genleşme tankı 30L + sıcak su tankı 25L |
| Dolaşan akışkan debisi | CH1:17 L/min @ 0.9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0.9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0.76MPa | |
| PCW trafiği | CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa |
| CH2: 20 L/dk@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/dk@15~25℃@0,3MPa | |
| Sıcaklık aralığı | 5~35 ℃ |
| Dolaşım sıvısı türü | FC3283 |
| Dolaşım sıvısı arayüzü | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW arayüzü | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Dış boyutlar (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Giriş gücü kaynağı | 3Faz,380-400V,50Hz |
| Tam cihaz gücü | 41.1 KW |
| Net ağırlık | 600 kg |
| Tasarım Standartları | Semi |