EN
Tek Kanallı Soğutucu Cihazlar
Sıcaklık Dayanıklılığı : ±0,1°C
Sıcaklık aralığı : -40˚C～+80˚C
Soğutma kapasitesi : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
...veya invertör tabanlı sıcaklık kontrolü , bu sistem enerji verimliliğini artırırken güç tüketimini azaltır. Sağlar ±0,1℃ stabilite hassasiyet gerektiren uygulamalar için:
Yarı iletken aşındırma cihazları ve CMP (Kimyasal Mekanik Taşıyıcı)
Laboratuvar cihazları ve yüksek hassasiyetli test ekipmanları
Estetiksel tıbbi cihazlar ve katı hal lazerleri
Kalıp sıcaklık kontrol sistemleri
- Genel Bakış
- Önerilen Ürünler
Teknik açıklama:
Lingheng Tek Kanallı Soğutucular entegre kompakt tasarım ile hedefe yönelik termal yönetim sağlar.
Tasarlanmış tek başına ekipmanın hassas soğutulması ±0,1℃ PID kontrolüne ve
kompresör teknolojisinde kritik uygulamalar için inverter
Yarı iletken ölçüm cihazları
Lazer işleme sistemleri
Tıbbi analiz cihazları
Test cihazı kurulumları
İzole edilmiş sıvı devresi, karışık bulaşmayı önlerken PCW-free yapısı kurulum maliyetlerini %30 oranında düşürür.
Ana avantajları:
Kriyojenik Mükemmelliği : -40℃ sıcaklıkta çalışır ve sıcaklık geçişi <3 dakikadır
Sıfır Kayıpla Dolaşım : Lazer kaynaklı boru sistemi ile yıllık sıvı kaybı %0,1'den azdır
İnverter Verimliliği : Sabit hızlı modellerle karşılaştırıldığında %35 enerji tasarrufu sağlar (SEMI S23 sertifikalı)
Dinamik Rampa Performansı : ±5℃/dk sıcaklık değişimi oranlarına ulaşır
Çoklu Protokol Entegrasyonu : ASML/TEL/LAM araç entegrasyonu için SECS/GEM & OPC-UA uyumlu 
Temel Bileşenler ve Çalışma
Bileşen |
TEKNOLOJİ |
Kompresör |
Sıvı slugging korumalı hermetik inverter kompresör (±0. 1℃ kontrolü) |
Kondensatör |
Paslanmaz çelik, %5'ten düşük termal kayıp |
Buharlaştırıcı |
Plaka tipi tasarım, %35 daha yüksek verim, ≤55 dB gürültü |
Isıtıcı |
Daldırmalı doğrudan ısıtma, ±0,3 ℃ üniformluk |
Genleşme vanası |
Elektronik valf ile ±1 ℃ aşırı ısınma kontrolü |
Pompa |
Manyetik tahrikli pompa (florlanmış sıvı versiyonu), %2'den düşük debi dalgalanması |
Soğutma Prensibi
Adaptif PID Soğutma Döngüsü :
1️⃣ Sıkıştırma → Soğutucu akışkan basıncı artışı
2️⃣ Kondensasyon → Isı atımı ve sıvılaşma
3️⃣ EEV daralması → Düşük basınç üretimi
4️⃣ Buharlaşma → Cihazdan hassas ısı emme
5️⃣ İnvertör akış kontrolü → ±0'ı korur. 1℃ sabitliği
| VS100/407/020 Ürün Parametreleri | |||
| Ürün Modeli | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Soğutma Yöntemi | Su-soğutması | ||
| Kontrol modu | PID kontrolü | ||
| Sıcaklık kontrol aralığı | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Hassasiyet | ±0.1℃ | ||
| Soğutma kapasitesi |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Güç | 3kw | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Sirküle sıvı debisi | 20L/dk (0,75Mpa) | 20L/dk (0,7 MPa) | |
| PCW trafiği | 15L/dk@15~25℃ | 30L/dk@15~25℃ | 50 L/dk@15~25℃ |
| Sıcaklık aralığı | 5~35℃ | ||
| Dolaşım Sıvısı Türleri | Etilen glikol karışımları, saf su, florlanmış sıvı | Berrak su, Etilen glikol karışımı, Saf su, Florlanmış çözelti | Etilen glikol karışımı, florlanmış sıvı |
| Soğutucu | R410a | / | / |
| Dolaşım sıvısı arayüzü | Rc3/4“ | ||
| PCW arayüzü | RC1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Dış boyutlar (mm) | 380E*900D*1300Y | 420G*900D*1250Y | 500G*1150D*1500Y |
| Giriş gücü kaynağı | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Faz,380-400V,50Hz |
| Makine gücü | 8kw | 9.7KW | 14kw |
| net ağırlık | 200 kilo | 210kg | 360 kg |
| Tasarım Standartları | Semi | ||
