Refroidisseurs au CO2

Description technique :

Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Utilisation de réfrigérant naturel (GWP=1, ODP=0) pour fournir contrôle thermique précis à ±0,1℃ pour les processus avancés de semi-conducteurs. Permet fonctionnement sur une large plage de -40℃ à +100℃ via la technologie du cycle transcritique, compatible avec des applications critiques :

Photolithographie

Gravure

Dépôt atomique en couche (ALD)
Circuit à flux entièrement scellé respecte les normes des salles blanches de classe 100, tout en Conception sans gaz fluorés réduit l'exposition à la taxe carbone — garantissant à la fois l'excellence du processus et la conformité aux normes ESG.

Avantages principaux :

Soutenabilité Environnementale :

PRG=1 - Pleinement aligné sur les objectifs climatiques mondiaux, réduisant ainsi l'exposition à la taxe carbone

Réfrigérant naturel - Élimine les besoins de récupération/élimination des gaz fluorés

Zéro ODP - Conforme aux réglementations internationales (p. ex., Amendement de Kigali)

Supériorité technique :

précision de ±0,1℃ - Compatible avec les nœuds avancés (conformité avec la phase de sortie des frigorigènes fluorés TSMC 5nm)

Fonctionnement sans contamination - Résidu de CO₂ <1ppb, certifié pour salles propres de classe 1000

cOP 30 % plus élevé - Technologie d'inverseur de cycle transcritique (vérifié par rapport à la référence LIAT 1,0)

Sécurité et performances :

Non toxique et non inflammable - Élimine les risques de fuites de frigorigène fluoré

Réduction des risques en salle blanche - Indice d'impact environnemental 68 % plus faible (selon SEMI S10)

Composants essentiels & fonctionnement :

Principe de réfrigération :

1. Compression → Pressurisation du frigorigène
2. Condensation → Dissipation de chaleur et liquéfaction
3. Détente par vanne électronique → Génération de brouillard basse pression
4. Évaporation → Absorption précise de chaleur depuis l'équipement
5. Contrôle de débit par onduleur → Maintient une stabilité de ±0, 1℃ stabilité