EN
Refroidisseurs au CO2
Stabilité à température : ±0,1℃
Plage de température : -20˚C～+80˚C
Capacité de refroidissement : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Fournir un contrôle thermique précis grâce à des refroidisseurs compacts à compresseur pour :
Fabrication et test des plaquettes de semi-conducteurs
Validation des batteries/moteurs électriques des nouveaux véhicules électriques
Refroidissement d'équipements précis
Applications spécifiques de refroidissement par air
- Vue d'ensemble
- Produits recommandés
Description technique :
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Utilisation de réfrigérant naturel (GWP=1, ODP=0) pour fournir contrôle thermique précis à ±0,1℃ pour les processus avancés de semi-conducteurs. Permet fonctionnement sur une large plage de -40℃ à +100℃ via la technologie du cycle transcritique, compatible avec des applications critiques :
Photolithographie
Gravure
Dépôt atomique en couche (ALD)
Circuit à flux entièrement scellé respecte les normes des salles blanches de classe 100, tout en Conception sans gaz fluorés réduit l'exposition à la taxe carbone — garantissant à la fois l'excellence du processus et la conformité aux normes ESG.
Avantages principaux :
Soutenabilité Environnementale :
PRG=1 - Pleinement aligné sur les objectifs climatiques mondiaux, réduisant ainsi l'exposition à la taxe carbone
Réfrigérant naturel - Élimine les besoins de récupération/élimination des gaz fluorés
Zéro ODP - Conforme aux réglementations internationales (p. ex., Amendement de Kigali)
précision de ±0,1℃ - Compatible avec les nœuds avancés (conformité avec la phase de sortie des frigorigènes fluorés TSMC 5nm)
Fonctionnement sans contamination - Résidu de CO₂ <1ppb, certifié pour salles propres de classe 1000
cOP 30 % plus élevé - Technologie d'inverseur de cycle transcritique (vérifié par rapport à la référence LIAT 1,0)
Sécurité et performances :
Non toxique et non inflammable - Élimine les risques de fuites de frigorigène fluoré
Réduction des risques en salle blanche - Indice d'impact environnemental 68 % plus faible (selon SEMI S10)
Composants essentiels & fonctionnement :
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Compresseur |
Compresseur hermétique avec protection contre les chocs liquides (contrôle ±0,5 ℃) |
Condenseur |
Acier inoxydable, pertes thermiques <5% |
Évaporateur |
Plaques en titane, rendement 35 % supérieur, niveau sonore ≤55 dB |
Chauffage |
Chauffage direct immergé, uniformité ±0,3 ℃ |
Vanne d'expansion |
Vanne électronique avec contrôle de surchauffe ±1 ℃ |
Pompe |
Pompe à entraînement magnétique (version avec fluide fluoré), fluctuation de débit <2% |
Principe de réfrigération :
1. Compression → Pressurisation du frigorigène
2. Condensation → Dissipation de chaleur et liquéfaction
3. Détente par vanne électronique → Génération de brouillard basse pression
4. Évaporation → Absorption précise de chaleur depuis l'équipement
5. Contrôle de débit par onduleur → Maintient une stabilité de ±0, 1℃ stabilité
| Paramètres du produit GVS010 | |
| Modèle de produit | GVS010-W-32F |
| Méthode de refroidissement | Type de refroidissement par eau |
| Mode de contrôle | Contrôle PID |
| Plage de contrôle de la température | -20℃~+80℃ |
| Précision | ±0.1℃ |
| Capacité de réfrigération |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Puissance | 3KW |
| Tank | 20L |
| Débit de liquide circulant | 20L/min（0,75Mpa） |
| Circulation PCW | 15L/min@15~25℃ |
| Plage de température | 5~35℃ |
| Types de fluide de circulation | Mélange d'éthylène glycol, Eau pure, Solution fluorée |
| Réfrigérant | R744（CO2） |
| Interface du liquide de circulation | Rc3/4” |
| Interface PCW | Rc1/2” |
| Dimensions extérieures (mm) | 380W*900D*1250H |
| Alimentation électrique | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Puissance de la machine | 8KW |
| poids net | 200 kg |
| Normes de conception | Semi |
