Refroidisseurs à trois canaux

Stabilité à température : ±0,1℃

Plage de température : -40 °C～+80 °C

Capacité de refroidissement : -40 °C@6 kW /20 °C@25 kW
Refroidisseur avec compresseur industriel équipé de compresseurs de marque premium pour une stabilité exceptionnelle. Débit stabilité de température en sortie ±0,1℃ pour des applications critiques telles que :

Refroidissement des équipements de photolithographie/gravure

Gestion thermique des outils PVD/CVD

Contrôle de température des réacteurs chimiques et pharmaceutiques

Refroidissement des processus pharmaceutiques conformes aux bonnes pratiques de fabrication

Vue d'ensemble
Produits recommandés

Description technique :

Refroidisseurs Tri-Circuits Lingheng délivrent un refroidissement précis multi-charge (±0,1℃) dans une seule unité. Avec des sorties configurables pour des environnements stables, ils offrent :
✅ CONTRÔLE INTELLIGENT : Fonctionnement programmé, auto-compensation, autodiagnostic
✅ Triple Sécurité : Alarmes de surchauffe/surchage et de manque d'eau
✅ Connectivité Industrielle : E/S, RS232/RS485, Ethernet/IP
Conçus pour les outils groupés de semi-conducteurs et les lignes de production photovoltaïque, avec une économie d'énergie de 30 %.

原理图5-英.png

Avantages principaux :

Intégration TripleSync™
» 3 circuits indépendants dans un seul châssis
→ Réduction de 55 % de l'espace requis en salle blanche

Précision de niveau cluster
» Stabilité de ±0,1℃ avec un gradient inter-circuit <±0,03℃
→ Permet la synchronisation des processus multi-chambres

Équilibrage de charge dynamique
» Répartition intelligente du refroidissement (capacité totale de 30 kW)
→ Économie d'énergie de 28 % sur les charges variables

Compatibilité Multi-Outils
» Plug-and-play avec les outils cluster ASML/AMAT/TEL
→ Compatible avec les salles de fabrication 300 mm et les lignes PV TOPCon

Écosystème en Titane Ultraclean
» Circuits d'écoulement configurables avec étanchéité modulaire
→ Résidu fluide <0,1 ppb (Conforme à la classe 10)

结构图.png

Composants essentiels & fonctionnement :

CompoNent	TECHNOLOGIE
Compresseur	Compresseur hermétique avec protection contre les chocs liquides (±0. 1contrôle ℃)
Condenseur	Acier inoxydable, pertes thermiques <5%
Évaporateur	Conception à plaques, 35 % d'efficacité supérieure, niveau sonore ≤55 dB
Chauffage	Chauffage direct immergé, uniformité ±0,3 ℃
Vanne d'expansion	Vanne électronique avec contrôle de surchauffe ±1 ℃
Pompe	Pompe à entraînement magnétique (version avec fluide fluoré), fluctuation de débit <2%

Principe de réfrigération :

Cycle de réfrigération PID adaptatif :
1️⃣ Compression → Pressurisation du frigorigène
2️⃣ Condensation → Dissipation de chaleur & liquéfaction
3️⃣ Étranglement EEV → Génération basse pression
4️⃣ Évaporation → Absorption précise de la chaleur depuis l'équipement
5️⃣ Contrôle de débit par onduleur → Maintient une stabilité de ±0. 1℃ stabilité

Paramètres du produit VT410
Nom du produit	Refroidisseur
Modèle de produit	VT410-W-33
Méthode de refroidissement	Refroidissement à l'eau
Mode de contrôle	Contrôle PID
Plage de contrôle de la température	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Précision	±0.1℃
Capacité de refroidissement	CH1:6 kW@-40℃

	CH2:30 kW@+30℃

	CH3:28 kW@+20℃
Puissance	CH1:4 kW

	CH2:14 kW

	CH3:4 kW
Tank	Réservoir d'expansion partagé CH1/CH2 30 L + réservoir d'eau chaude 25 L
Débit du fluide de circulation	CH1:17 L/min @ 0,9 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9 MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76 MPa
Circulation PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH2 : 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH3 : 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa
Plage de température	5~35 ℃
Type de fluide de circulation	FC3283
Interface du liquide de circulation	CH1/CH2/CH3 : Rc 3/4"
Interface PCW	CH1/CH2/CH3 : Rc1"
Dimensions extérieures le nombre de points	600W1370D2000H
Alimentation électrique	3Ph,380-400V,50Hz
Puissance totale de la machine	41,1 kW
Poids net	600 Kg
Normes de conception	Semi