Système de Veste Chauffante

Description technique :

Applications de chemises chauffantes :

1. Lignes de distribution de gaz

Gaz de procédé dangereux :
Chlorure de bore (BCl₃), trifluorure de chlore (ClF₃), orthosilicate de tétraéthyle (TEOS)
Dichlorosilane (DCS/SiH₂Cl₂), hexafluorure de tungstène (WF₆)
Validation du processus chauffage des lignes de gaz pour le contrôle du point de rosée et la prévention de la condensation

2. Procédés CVD

Dépôt chimique en phase vapeur sous basse pression (LPCVD)
CVD avec plasma (PECVD)
Fonction : Stabilisation de la température de la vapeur précurseur (±1℃)

3. Gravure métallique

Systèmes d'échantillonnage par plasma :
Gravure de l'aluminium (chimies Cl₂/BCl₃)
Gravure du tungstène (mélanges SF₆/WF₆)
Fonction : Maintenir la cohérence de la réactivité des gaz

Avantages de la veste chauffante :

Catégorie des avantages	Caractéristiques techniques
Contrôle Précis	stabilité ±0,5℃ via des contrôleurs PID (certifié ISO 15805)
Assurance de sécurité	Deux verrouillages de sécurité : • Thermostat KSD30 • Fusible thermique (conforme à la norme IEC 60691)
Éco-isolation	Couche d'isolation sans PFAS : • Pertes thermiques <5% (ISO 8301) • Enveloppe élégante en acier inoxydable
Surveillance intelligente	Surveillance en temps réel du courant : • Valeurs de courant par zone → HMI/SCADA • Enregistrement des données MODBUS-TCP

Contrôleurs de température PID

Le système Heating Jacket utilise des contrôleurs de température PID pour une régulation thermique précise, chaque contrôleur fonctionnant sur un segment de bus RS485 dédié disposant d'une adresse réseau unique. Ces unités PID fonctionnent à la fois comme modules de contrôle autonomes et comme nœuds intégrés au sein d'une architecture réseau distribuée. Utilisant le protocole Modbus RTU via des interfaces RS485, tous les contrôleurs communiquent de manière bidirectionnelle avec le tableau de commande HMI central, permettant une gestion synchronisée des températures multi-zones et une agrégation des données en temps réel, sans nécessiter de contrôleur logique programmable central.

Panneau de contrôle ihm

L'installation de chemises chauffantes et de contrôleurs de température PID sur les canalisations sous vide ou à gaz est relativement décentralisée, rendant impossible la surveillance efficace en temps réel des températures et du statut opérationnel de toutes les chemises chauffantes simultanément. Afin de permettre une surveillance en temps réel de l'ensemble des conditions des chemises chauffantes, nous avons mis en œuvre un panneau de contrôle HMI qui regroupe toutes les chemises chauffantes au sein d'une plateforme unique, permettant ainsi un contrôle centralisé et une gestion des communications.

Système de Surveillance Centralisée

Toutes les interfaces - y compris les écrans de surveillance, les affichages d'alarmes en temps réel, les journaux d'alarmes historiques, les enregistrements d'historique d'événements, les graphiques d'analyse de tendances et les formulaires de rapports - peuvent être configurées sur le système hôte (en utilisant des plateformes SCADA telles qu'InTouch ou iFix) pour une surveillance complète du système des chemises chauffantes.