EN
Refroidisseurs à deux canaux
Stabilité à température : ±0,1℃
Plage de température : -20˚C～+80˚C
Capacité de refroidissement : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Système de refroidissement précis à double circuit offrant les performances de deux refroidisseurs indépendants dans une seule unité. Atteint une stabilité de ±0,1 °C par circuit pour applications critiques en semi-conducteurs :
Contrôle de température des outils PVD/CVD
Gestion thermique du processus d'attaque
Compatibilité éprouvée dans l'industrie avec AMAT, LAM, AMEC, TEL et autres équipements majeurs de fabrication.
- Vue d'ensemble
- Produits recommandés
Description technique :
Refroidisseurs à Double Circuit Lingheng offrent un contrôle de température indépendant à double voie dans une seule unité.
Mettant en vedette une stabilité de ±0,1 °C par circuit , ces systèmes sont conçus pour :
Refroidissement synchronisé des chambres PVD/CVD
Gestion thermique multi-zones dans les outils de gravure
Avec une empreinte 40 % plus petite et une compatibilité éprouvée dans l'industrie (AMAT/LAM/TEL), ils redéfinissent le refroidissement précis et éco-énergétique.
Avantages principaux :
Efficacité Deux-en-Un
» Remplace les refroidisseurs doubles par des circuits indépendants
→ 40 % d'espace propre en moins + 30 % de réduction des investissements
Double commande précise
» Stabilité de ±0,1 °C par circuit (ΔT<0, 2℃)
→ Garantit une variation d'épaisseur de film <3 % en CVD/PVD
Intégration prête pour la fabrication
» Protocoles AMAT/LAM/TEL préchargés
→ 90 % de compatibilité avec les outils de 300 mm, 65 % de temps d'arrêt en moins
Energy TwinDrive™
» 35 % d'énergie inférieure par rapport aux modèles classiques
→ Certifié SEMI S23, économie annuelle de >18 000 $
Zéro contamination croisée
» Chemins d'écoulement personnalisables + Joints soudés au laser
→ Compatible avec UPW/fluorinert/EGW 
Composants essentiels & fonctionnement :
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Compresseur |
Compresseur hermétique avec protection contre les chocs liquides (±0. 1contrôle ℃) |
Condenseur |
Acier inoxydable, pertes thermiques <5% |
Évaporateur |
Conception à plaques, 35 % d'efficacité supérieure, niveau sonore ≤55 dB |
Chauffage |
Chauffage direct immergé, uniformité ±0,3 ℃ |
Vanne d'expansion |
Vanne électronique avec contrôle de surchauffe ±1 ℃ |
Pompe |
Pompe à entraînement magnétique (version avec fluide fluoré), fluctuation de débit <2% |
Principe de réfrigération :
Cycle de réfrigération PID adaptatif :
1️⃣ Compression → Pressurisation du frigorigène
2️⃣ Condensation → Dissipation de chaleur & liquéfaction
3️⃣ Étranglement EEV → Génération basse pression
4️⃣ Évaporation → Absorption précise de la chaleur depuis l'équipement
5️⃣ Contrôle de débit par onduleur → Maintient une stabilité de ±0. 1℃ stabilité
| Paramètres du produit VD100 | |
| Modèle de produit | VD100-W-32 |
| Méthode de refroidissement | Refroidissement à l'eau |
| Mode de contrôle | Contrôle PID |
| Plage de contrôle de la température | -20℃~+80℃ |
| Précision | ±0.1℃ |
| Capacité de réfrigération |
CH1/ CH2: -20℃@2 kW - 10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
| Puissance |
CH1:3 kW CH2:3 kW |
| Tank |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Débit de liquide circulant |
CH1:20 L/min（0,75 MPa） CH2:20 L/min（0,75 MPa） |
| Circulation PCW | CH1 : 15 L/min@15~25 ℃ CH2 : 15 L/min@15~25 ℃ |
| Plage de température | 5~35℃ |
| Types de fluide de circulation | Mélange d'éthylène glycol, eau pure, liquide fluoré |
| Réfrigérant | R410a |
| Interface du liquide de circulation | Rc3/4“ x 2 |
| Interface PCW | Rc1/2” x 2 |
| Dimensions extérieures (mm) | 600W*920D*1300H |
| Alimentation électrique | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Puissance de la machine | 16KW |
| poids net | 350KG |
| Normes de conception | Semi |
