EN
Refroidisseurs à un canal
Stabilité à température : ±0,1℃
Plage de température : -40˚C～+80˚C
Capacité de refroidissement : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Mettant en vedette contrôle de température à base d'onduleur , ce système améliore l'efficacité énergétique tout en réduisant la consommation d'énergie. Délivre stabilité ±0,1℃ pour des applications nécessitant une grande précision, notamment :
Outils d'etching pour semi-conducteurs & CMP (Polissage Chimique Mécanique)
Instruments de laboratoire & équipements de test haute précision
Appareils médicaux esthétiques & lasers à état solide
Systèmes de contrôle de température des moules
- Vue d'ensemble
- Produits recommandés
Description technique :
Refroidisseurs monovoie Lingheng offrent une gestion thermique ciblée grâce à un design compact intégré.
Conçu pour refroidissement précis d'équipements autonomes , nos unités disposent d'un contrôle PID de ±0,1℃ et de
une technologie de compresseur à onduleur pour des applications critiques telles que :
Outils de métrologie pour semiconducteurs
Systèmes de traitement laser
Analyseurs médicaux
Installations d'essai
Un circuit fluide isolé empêche la contamination croisée, tandis qu'une construction sans eau de refroidissement (PCW-free) réduit les coûts d'installation de 30 %.
Avantages principaux :
Excellence cryogénique : Fonctionne à -40 °C avec une transition de température inférieure à 3 minutes
Circulation sans perte : Tuyauterie soudée au laser avec une perte de fluide annuelle inférieure à 0,1 %
Efficacité de l'onduleur : Économie d'énergie de 35 % par rapport aux modèles à vitesse fixe (certifié SEMI S23)
Performances dynamiques sur rampe : Taux de variation de température de ±5℃/min
Intégration multi-protocoles : Prêt SECS/GEM & OPC-UA pour l'intégration aux outils ASML/TEL/LAM 
Composants Essentiels & Fonctionnement
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Compresseur |
Compresseur hermétique avec protection contre les chocs liquides (±0. 1contrôle ℃) |
Condenseur |
Acier inoxydable, pertes thermiques <5% |
Évaporateur |
Conception à plaques, 35 % d'efficacité supérieure, niveau sonore ≤55 dB |
Chauffage |
Chauffage direct immergé, uniformité ±0,3 ℃ |
Vanne d'expansion |
Vanne électronique avec contrôle de surchauffe ±1 ℃ |
Pompe |
Pompe à entraînement magnétique (version avec fluide fluoré), fluctuation de débit <2% |
Principe de réfrigération
Cycle de réfrigération PID adaptatif :
1️⃣ Compression → Pressurisation du frigorigène
2️⃣ Condensation → Dissipation de chaleur & liquéfaction
3️⃣ Étranglement EEV → Génération basse pression
4️⃣ Évaporation → Absorption précise de la chaleur depuis l'équipement
5️⃣ Contrôle de débit par onduleur → Maintient une stabilité de ±0. 1℃ stabilité
| Paramètres techniques du produit VS100/407/020 | |||
| Modèle de produit | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Méthode de refroidissement | Refroidissement à l'eau | ||
| Mode de contrôle | Contrôle PID | ||
| Plage de contrôle de la température | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Précision | ±0.1℃ | ||
| Capacité de réfrigération |
-20℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-20℃@5 kW -10℃@10 kW 0℃@15 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
-40 °C@6 kW -20℃@12 kW 0℃@25 kW 20℃@25 kW 40℃@25 kW |
| Puissance | 3KW | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Débit de liquide circulant | 20L/min（0,75Mpa） | 20L/min(0,7Mpa) | |
| Circulation PCW | 15L/min@15~25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| Plage de température | 5~35℃ | ||
| Types de fluide de circulation | Mélange d'éthylène glycol, eau pure, liquide fluoré | Eau claire, Mélange d'éthylène glycol, Eau pure, Solution fluorée | Mélange d'éthylène glycol, liquide fluoré |
| Réfrigérant | R410a | / | / |
| Interface du liquide de circulation | Rc3/4“ | ||
| Interface PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Dimensions extérieures (mm) | 380L*900P*1300H | 420W*900P*1250H | 500W*1150P*1500H |
| Alimentation électrique | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Puissance de la machine | 8KW | 9,7KW | 14KW |
| poids net | 200 kg | - 210 kg | 360kg |
| Normes de conception | Semi | ||
