ट्रिपल चैनल चिलर

तापमान स्थिरता : ±0.1℃

तापमान सीमा : -40˚C से +80˚C

कूलिंग क्षमता : -40℃@6 किलोवाट /20℃@25 किलोवाट
औद्योगिक-ग्रेड कंप्रेसर चिलर अद्वितीय स्थिरता के लिए प्रीमियम-ब्रांड कंप्रेसर सहित। प्रदान करता है ±0.1℃ आउटलेट तापमान स्थिरता नाजुक अनुप्रयोगों के लिए जिसमें शामिल हैं:

फोटोलिथोग्राफी/एचिंग उपकरण शीतलन

PVD/CVD उपकरण तापीय प्रबंधन

रासायनिक एवं औषधीय रिएक्टर तापमान नियंत्रण

GMP-अनुपालन वाली औषधीय प्रक्रिया शीतलन

सारांश
अनुशंसित उत्पाद

तकनीकी विवरण:

लिंघेंग ट्रिपल-सर्किट चिलर एकल इकाई में बहु-भार सटीक शीतलन (±0.1℃) प्रदान करता है। स्थिर वातावरण के लिए कॉन्फ़िगर करने योग्य आउटपुट के साथ, यह प्रदान करता है:
✅ स्मार्ट नियंत्रण : निर्धारित संचालन, स्वतः-क्षतिपूर्ति, स्व-निदान
✅ तिहरी सुरक्षा : अत्यधिक गर्मी/अतिभार/पानी की कमी की चेतावनी
✅ औद्योगिक कनेक्टिविटी : आई/ओ, आरएस232/आरएस485, ईथरनेट/आईपी
अर्धचालक क्लस्टर टूल्स और पीवी उत्पादन लाइनों के लिए डिज़ाइन किया गया जिसमें 30% ऊर्जा बचत होती है।

原理图5-英.png

प्रमुख लाभ:

ट्रिपलसिंक™ इंटीग्रेशन
» एकल चेसिस में 3 स्वतंत्र सर्किट
→ 55% क्लीनरूम फुटप्रिंट में कमी

क्लस्टर-ग्रेड प्रेसिज़न
» ±0.1℃ स्थिरता, <±0.03℃ इंटर-सर्किट ग्रेडिएंट के साथ
→ मल्टी-चेंबर प्रक्रिया सिंक्रनाइज़ेशन सक्षम करता है

डायनामिक लोड बैलेंसिंग
» स्मार्ट कूलिंग आवंटन (कुल 30किलोवाट क्षमता)
→ परिवर्ती भारों पर 28% ऊर्जा बचत

बहु-उपकरण संगतता
» ASML/AMAT/TEL क्लस्टर उपकरणों के साथ प्लग-एंड-प्ले
→ 300 मिमी फैब्स और PV TOPCon लाइनों का समर्थन करता है

अल्ट्राक्लीन टाइटेनियम पारिस्थितिकी तंत्र
» मॉड्यूलर सीलिंग के साथ अनुकूलन योग्य प्रवाह पथ
→ <0.1 पीपीबी तरल अवशेष (कक्षा 10 अनुपालन)

结构图.png

कोर घटक और संचालन:

घटक	प्रौद्योगिकी
कंप्रेसर	हरमेटिक इन्वर्टर कंप्रेसर लिक्विड स्लगिंग सुरक्षा के साथ (±0. 1℃ नियंत्रण)
संघनीकरणी	स्टेनलेस स्टील, <5% ऊष्मीय नुकसान
वाष्पक	प्लेट प्रकार की डिज़ाइन, 35% अधिक दक्षता, ≤55डीबी शोर
हीटर	डूबा हुआ सीधा ताप, ±0.3℃ एकसमानता
विस्तार वाल्व	इलेक्ट्रॉनिक वाल्व ±1℃ सुपरहीट नियंत्रण के साथ
पंप	मैग-ड्राइव पंप (फ्लोरिनेटेड तरल संस्करण), <2% प्रवाह उतार-चढ़ाव

प्रशीतन सिद्धांत:

अनुकूलनीय पीआईडी प्रशीतन चक्र :
1️⃣ संपीड़न → रेफ्रिजरेंट दबाव वृद्धि
2️⃣ संघनन → ऊष्मा निष्कासन और द्रवीकरण
3️⃣ ईईवी थ्रॉटलिंग → निम्न-दबाव उत्पादन
4️⃣ वाष्पीकरण → उपकरण से सटीक ऊष्मा अवशोषण
5️⃣ इन्वर्टर फ्लो नियंत्रण → ±0 को बनाए रखता है 1℃ स्थिरता

VT410 उत्पाद पैरामीटर
उत्पाद नाम	चिलर
उत्पाद मॉडल	VT410-W-33
कूलिंग विधि	पानी से ठंडा
नियंत्रण मोड	पीआईडी नियंत्रण
तापमान नियंत्रण रेंज	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
शुद्धता	±0.1℃
कूलिंग क्षमता	CH1:6किलोवाट@-40˚C

	CH2:30किलोवाट@+30℃

	CH3:28किलोवाट@+20℃
शक्ति	CH1:4 किलोवाट

	CH2:14 किलोवाट

	CH3:4 किलोवाट
टैंक	CH1 / CH2 साझा विस्तार टैंक 30 लीटर + गर्म पानी का टैंक 25 लीटर
परिसंचरण तरल प्रवाह	CH1:17 लीटर/मिनट @ 0.9MPa

	CH2:17 लीटर/मिनट @ 0.9MPa

	CH3:25 लीटर/मिनट @ 0.76MPa
PCW ट्रैफ़िक	CH1: 50 लीटर/मिनट@15~25℃@0.3MPa

	CH2: 20 लीटर/मिनट@15~25℃@0.3MPa

	CH3: 50 लीटर/मिनट@15~25℃@0.3MPa
तापमान सीमा	5~35 ℃
संचारित तरल प्रकार	FC3283
संचारित तरल इंटरफ़ेस	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW इंटरफ़ेस	CH1/CH2/CH3: Rc1"
बाहरी आयाम （मिमी）	600W1370D2000H
इनपुट पावर सप्लाई	3Ph,380-400V,50Hz
पूरी मशीन की शक्ति	41.1 किलोवाट
शुद्ध वजन	600 किलोग्राम
डिजाइन मानक	अर्ध