Meidän Lämmittävä takkajärjestelmä tarjoaa tarkan ja stabiilin lämpötilan säädön (±0,5 ℃) tyhjiö- ja kaasujakelulinjoille puolijohde-, CVD- ja syövytysprosesseissa. Suunniteltu estämään kondensoituminen, depositoituminen ja virtauksen tukkeutuminen, tämä järjestelmä takaa johdonmukaisen prosessisuorituksen ja pidentää laitteiston käyttöikää.
Saatavilla useissa eri materiaalivaihtoehdoissa sovellustarpeiden mukaan:
Silikonivaahto
Koko PTFE
PTFE-päällyste
Laajennettu ptfe
Järjestelmä sisältää kolme keskeistä komponenttia luotettavaa ja älykästä lämpöhallintaa varten:
Lämmittävät takit – Räätälöity tietyille putkilinjoille ja jäljitystarpeille.
PID-ohjaimet – Varmista lämpötilan vakaus ±0,5 ℃:n tarkkuudella, varustettu dedikoitulla RS485-vietyllä ja Modbus RTU -protokollalla.
HMI-ohjauskaapit – Keskitetty monien lämmitysvyöhykkeiden seuranta ja ohjaus reaaliajassa.
Kaasutoimitusputket – Säätää kastepistettä vaarallisille kaasuille, kuten BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS ja WF₆.
CVD-prosessit – Stabiloi esiaineen höyrynlämpötilan LPCVD- ja PECVD-järjestelmissä (±1 ℃).
Metallin syövytys – Varmistaa kaasun reaktiivisuuden tasaisuuden plasmasyövytyksessä alumiinille, volframille ja muille materiaaleille.
| Ominaisuus | Edunsaajat |
|---|---|
| Tarkka hallinta | ±0,5 ℃:n stabiilisuus ISO 15805 -sertifioituilla PID-ohjaimilla. |
| Kaksinkertainen turvajärjestelmä | Sisäänrakennettu KSD30-termostaatti ja IEC 60691 -standardin mukainen lämpösulake. |
| Ympäristöystävällinen eristys | PFAS-vapaa, <5 %:n lämpöhäviö, asennettu tyylikkääseen ruostumattomaan teräkseen. |
| Älykäs seuranta | Toteaikainen virta vyöhykkeittäin, MODBUS-TCP-integraatio HMI/SCADA-järjestelmän kanssa. |
| Keskitetty hallinta | Yhteensopiva InTouch-, iFix- ja muiden SCADA-alustojen kanssa kattavaa järjestelmänvalvontaa varten. |
Meidän HMI-ohjauskaappi yhdistää kaikki lämmityskaaret yhdeksi käyttöliittymäksi, mahdollistaen:
Toteaikaisen lämpötilan ja tilan seurannan
Historiatietojen tallennuksen ja trendianalyysin
Automaattiset raportoinnit ja hälytysilmoitukset (SMS, sähköposti, puhelu)
Usean tietokoneen käyttö ja keskinäinen varmuuskopiointi
Vähentää huoltokompleksisuutta ja käyttökustannuksia
Tukee skaalautuvaa laajennusta ja verkkohallintaa
Parantaa prosessin toistettavuutta ja tuottavuutta kriittisissä sovelluksissa
Vastaa kansainvälisiä standardeja turvallisuudessa ja suorituskyvyssä
Lisätietoja siitä, miten lämmitysasemamme voivat optimoida prosessin lämpöhallintaa, ota yhteyttä insinööritiimiimme räätälöidyn ratkaisun saamiseksi.
EN
