Unsere Heizjacken-System bietet präzise und stabile Temperaturkontrolle (±0,5 °C) für Vakuum- und Gaszuleitungen in Halbleiter-, CVD- und Ätzprozessen. Durch die Vermeidung von Kondensation, Ablagerungen und Strömungsbehinderungen gewährleistet dieses System eine gleichmäßige Prozessleistung und verlängert die Lebensdauer der Anlagen.
Erhältlich in mehreren Materialvarianten, um Ihren Anwendungsanforderungen gerecht zu werden:
Silikonschaum
Voll-PTFE
PTFE-Beschichtung
Expanded ptfe
Das System integriert drei Kernelemente, um zuverlässiges und intelligentes thermisches Management bereitzustellen:
Heizjacken – Speziell entwickelt für individuelle Rohrleitungsanordnungen und Leiterbahnanforderungen.
PID-Steuerungen – Gewährleistung der Temperaturstabilität innerhalb von ±0,5 °C mit dedizierter RS485-Kommunikation und Modbus-RTU-Protokoll.
HMI-Steuerungsschränke – Zentrale Überwachung und Steuerung mehrerer Heizzonen in Echtzeit.
Gasleitungen – Aufrechterhaltung der Taupunktregelung für gefährliche Gase wie BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS und WF₆.
CVD-Prozesse – Stabilisiert die Vorläuferdampftemperatur in LPCVD- und PECVD-Systemen (±1 °C).
Metallätzen – Gewährleistet gleichbleibende Gasreaktivität beim Plasmaätzen von Aluminium, Wolfram und anderen Materialien.
| Funktion | Leistung |
|---|---|
| Präzisionssteuerung | ±0,5 °C-Stabilität mit ISO-15805-zertifizierten PID-Reglern. |
| Doppelter Sicherheitsmechanismus | Integrierter KSD30-Thermostat und IEC 60691-konforme thermische Sicherung. |
| Umweltfreundliche Isolierung | PFAS-frei, <5 % Wärmeverlust, untergebracht in schlankem Edelstahlgehäuse. |
| Intelligente Überwachung | Echtzeit-Strommessung pro Zone, MODBUS-TCP-Integration mit HMI/SCADA. |
| Zentrale Verwaltung | Kompatibel mit InTouch, iFix und anderen SCADA-Plattformen für vollständige Systemüberwachung. |
Unsere HMI-Steuerungsschrank bündelt alle Heizmäntel in einer Schnittstelle und ermöglicht:
Echtzeit-Temperatur- und Statusüberwachung
Langzeitdatenaufzeichnung und Trendanalyse
Automatisierte Berichterstattung und Alarmbenachrichtigungen (SMS, E-Mail, Anruf)
Mehrfacher Computerzugriff und gegenseitige Datensicherung
Reduziert den Wartungsaufwand und die Betriebskosten
Unterstützt skalierbare Erweiterung und Netzwerkverwaltung
Verbessert die Prozesswiederholbarkeit und Ausbeute bei kritischen Anwendungen
Konform mit internationalen Standards für Sicherheit und Leistung
Um zu erfahren, wie unser Heizmantelsystem Ihr prozessbezogenes Wärmemanagement optimieren kann, kontaktieren Sie unser Engineering-Team für eine maßgeschneiderte Lösung.
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