Naše Ohrievací systém zabezpečuje presnú a stabilnú kontrolu teploty (±0,5 ℃) pre vakuové a plynové potrubia vo polovodičových procesoch, CVD a procesoch leptania. Navrhnutý tak, aby zabránil kondenzácii, usadzovaniu a ucpávaniu toku, tento systém zaisťuje stály prevádzkový výkon a predlženú životnosť zariadenia.
K dispozícii v niekoľkých materiálových variantoch podľa potrieb vašej aplikácie:
Silikónová pena
Plný PTFE
PTFE povlak
Expanded ptfe
Systém integruje tri základné komponenty, ktoré poskytujú spoľahlivú a inteligentnú tepelnú reguláciu:
Vykurovacie plášte – Špeciálne navrhnutý pre konkrétne rozmiestnenie rúr a požiadavky na sledovanie.
PID regulátory – Zabezpečuje teplotnú stabilitu v rozmedzí ±0,5 ℃, s vyhradenou komunikáciou RS485 a protokolom Modbus RTU.
Ovládacie skrine s HMI – Centrálny dohľad a riadenie viacerých vykurovacích zón v reálnom čase.
Pripojenia pre dodávku plynu – Udržiava kontrolu rosného bodu pre nebezpečné plyny, ako sú BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS a WF₆.
Procesy CVD – Stabilizuje teplotu parov predchodcov v systémoch LPCVD a PECVD (±1 ℃).
Leštenie kovov – Zabezpečuje konzistentnú reaktivitu plynov pri plazmovom leštení hliníka, horčíka a iných materiálov.
| Funkcia | Výhoda |
|---|---|
| Presná kontrola | stabilita ±0,5 ℃ s PID regulátormi certifikovanými podľa ISO 15805. |
| Dvojitý bezpečnostný systém | Vstavaný termostat KSD30 a tepelná poistka v súlade s normou IEC 60691. |
| Ekologická izolácia | Bez prítomnosti PFAS, straty tepla <5 %, umiestnené v štýlovej nerezovej oceľi. |
| Chytré monitorovanie | Skutočný prúd na zónu, integrácia MODBUS-TCP s HMI/SCADA. |
| Centrálna správa | Kompatibilné s InTouch, iFix a inými SCADA platformami pre kompletný dohľad nad systémom. |
Naše HMI ovládací kabinet konsoliduje všetky vyhrievacie plášte do jedného rozhrania, čím umožňuje:
Sledovanie teploty a stavu v reálnom čase
Záznam historických údajov a analýza trendov
Automatické správy a upozornenia na poplach (SMS, e-mail, hovor)
Prístup z viacerých počítačov a vzájomná záloha
Znižuje zložitosť údržby a prevádzkové náklady
Podporuje škálovateľné rozšírenie a správu siete
Zvyšuje opakovateľnosť procesov a výťažok pri kritických aplikáciách
Kompatibilné so medzinárodnými štandardmi pre bezpečnosť a výkon
Ak sa chcete dozvedieť, ako náš systém vykurovacej bundy môže optimalizovať riadenie tepla vo vašom procese, kontaktujte náš inžiniersky tím, aby ste získali prispôsobené riešenie.
EN
