Nuestra Sistema de Chaqueta Calefactora ofrece un control preciso y estable de la temperatura (±0,5 ℃) para líneas de vacío y suministro de gas en procesos de semiconductores, CVD y grabado. Diseñado para prevenir la condensación, la deposición y la obstrucción del flujo, este sistema garantiza un rendimiento constante del proceso y una mayor vida útil del equipo.
Disponible en varias opciones de materiales para satisfacer las necesidades de su aplicación:
Espuma de silicona
PTFE completo
Recubrimiento de PTFE
Ptfe expandido
El sistema integra tres componentes principales para ofrecer una gestión térmica fiable e inteligente:
Chaqueta Calefactora – Diseñado a medida para disposiciones de tuberías y requisitos de trazado específicos.
Controladores PID – Garantiza estabilidad de temperatura dentro de ±0,5 ℃, con comunicación RS485 dedicada y protocolo Modbus RTU.
Gabinetes de Control HMI – Centraliza la supervisión y el control de múltiples zonas de calentamiento en tiempo real.
Líneas de entrega de gas – Mantiene el control del punto de rocío para gases peligrosos como BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS y WF₆.
Procesos CVD – Estabiliza la temperatura del vapor de precursor en sistemas LPCVD y PECVD (±1 ℃).
Grabado Metálico – Asegura una reactividad de gas constante en el grabado por plasma de aluminio, tungsteno y otros materiales.
| Característica | Beneficio |
|---|---|
| Control de Precisión | estabilidad de ±0,5 ℃ con controladores PID certificados según ISO 15805. |
| Sistema de Doble Seguridad | Termostato KSD30 integrado y fusible térmico conforme con la norma IEC 60691. |
| Aislamiento respetuoso con el medio ambiente | Libre de PFAS, pérdida térmica <5 %, alojado en acero inoxidable elegante. |
| Monitoreo inteligente | Corriente en tiempo real por zona, integración MODBUS-TCP con HMI/SCADA. |
| Gestión centralizada | Compatible con InTouch, iFix y otras plataformas SCADA para supervisión completa del sistema. |
Nuestra Armario de control HMI consolida todas las chaquetas de calentamiento en una sola interfaz, permitiendo:
Monitoreo en tiempo real de temperatura y estado
Registro de datos históricos y análisis de tendencias
Informes automatizados y notificaciones de alarma (SMS, correo electrónico, llamada)
Acceso multiordenador y copia de seguridad mutua
Reduce la complejidad de mantenimiento y los costos operativos
Admite expansión escalable y gestión de red
Mejora la repetibilidad del proceso y el rendimiento en aplicaciones críticas
Cumple con las normas internacionales de seguridad y rendimiento
Para saber cómo nuestro Sistema de Chaqueta Calefactora puede optimizar la gestión térmica de su proceso, contacte con nuestro equipo de ingeniería para una solución personalizada.
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