Geri

Isıtma Ceket Sistemi – İleri İmalatta Hassas Isıl Yönetim

Genel Bakış

Bizim Isıtmalı Ceket Sistemi yarı iletken, CVD ve aşındırma süreçlerinde vakum ve gaz hatları için hassas ve kararlı sıcaklık kontrolü (±0,5℃) sağlar. Yoğuşma, birikme ve akış kesintisini önlemek üzere tasarlanan bu sistem, süreç performansının tutarlı olmasını ve ekipmanın ömrünün uzamasını sağlar.

Uygulama ihtiyaçlarınıza uygun olarak çeşitli malzeme seçenekleriyle mevcuttur:

Silikon köpük
Tam PTFE
PTFE kaplaması
Expanded ptfe

Nasıl çalışır

Güvenilir ve akıllı ısıl yönetim sunmak için üç temel bileşeni entegre eder:

Isıtma Ceketleri – Özel boru düzenlemeleri ve iz gereksinimleri için özel olarak tasarlanmıştır.
PID denetleyici ±0,5 ℃ içinde sıcaklık stabilitesini sağlamak, özel RS485 iletişim ve Modbus RTU protokolü ile.
HMI Kontrol Kabinleri çoklu ısıtma bölgelerinin gerçek zamanlı olarak merkezi gözetim ve kontrolünü sağlamak.

Ana Uygulamalar

Gaz teslimatı hatları bCl₃, ClF₃, TEOS, DCS ve WF₆ gibi tehlikeli gazlar için çiğ noktası kontrolünü korur.
CVD Süreçleri lPCVD ve PECVD sistemlerinde öncü buhar sıcaklığının stabilitesini sağlar (±1 ℃).
Metal Aşındırma alüminyum, tungsten ve diğer malzemeler için plazma aşındırmada gaz reaktivitesinin tutarlı olmasını sağlar.

Neden Isıtma Kılıf Sistemimizi Tercih Etmelisiniz?

Özellik	Fayda
Hassas kontrol	iSO 15805 sertifikalı PID kontrolörlerle ±0,5 ℃ stabilite.
Çift Güvenlik Sistemi	Dahili KSD30 termostat ve IEC 60691 uyumlu termal sigorta.
Çevre Dostu Yalıtım	PFAS içermeyen, %5'ten az ısıl kayıp, şık paslanmaz çelik kasa içinde.
Akıllı İzleme	Her bölge için gerçek zamanlı akım, HMI/SCADA ile MODBUS-TCP entegrasyonu.
Merkezileştirilmiş yönetim	Tüm sistem denetimi için InTouch, iFix ve diğer SCADA platformlarıyla uyumlu.