I nostri Sistema Riscaldamento Giacca garantisce un controllo preciso e stabile della temperatura (±0,5 ℃) per linee di erogazione del vuoto e del gas nei processi di semiconduttori, CVD e incisione. Progettato per prevenire condensa, depositi e ostruzioni al flusso, questo sistema assicura prestazioni costanti del processo e una maggiore durata dell'equipaggiamento.
Disponibile in diverse opzioni di materiale per soddisfare le esigenze della vostra applicazione:
Schiuma di silicone
PTFE completo
Rivestimento PTFE
Expanded ptfe
Il sistema integra tre componenti principali per offrire una gestione termica affidabile ed intelligente:
Giacche Riscaldanti – Progettato su misura per specifiche configurazioni di tubazioni e requisiti di tracciamento.
Controller PID – Garantisce stabilità della temperatura entro ±0,5 ℃, con comunicazione dedicata RS485 e protocollo Modbus RTU.
Armadi di Controllo HMI – Centralizza il monitoraggio e il controllo in tempo reale di più zone di riscaldamento.
Linee di consegna del gas – Mantiene il controllo del punto di rugiada per gas pericolosi come BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS e WF₆.
Processi CVD – Stabilizza la temperatura del vapore del precursore nei sistemi LPCVD e PECVD (±1 ℃).
Incisione metalli – Garantisce una reattività costante del gas nell'incisione al plasma per alluminio, tungsteno e altri materiali.
| Caratteristica | Prestazione |
|---|---|
| Controllo Preciso | stabilità ±0,5 ℃ con controllori PID certificati ISO 15805. |
| Sistema di sicurezza doppio | Termostato KSD30 integrato e fusibile termico conforme alla norma IEC 60691. |
| Isolamento ecologico | Senza PFAS, perdita termica <5%, alloggiato in acciaio inossidabile elegante. |
| Monitoraggio intelligente | Corrente in tempo reale per zona, integrazione MODBUS-TCP con HMI/SCADA. |
| Gestione centralizzata | Compatibile con InTouch, iFix e altre piattaforme SCADA per una supervisione completa del sistema. |
I nostri Armadio di controllo HMI consolida tutti i mantelli riscaldanti in un'unica interfaccia, consentendo:
Monitoraggio in tempo reale della temperatura e dello stato
Registrazione dati storici e analisi delle tendenze
Segnalazione automatizzata e notifiche di allarme (SMS, email, chiamata)
Accesso da più computer e backup reciproco
Riduce la complessità della manutenzione e i costi operativi
Supporta l'espansione scalabile e la gestione della rete
Migliora la ripetibilità del processo e il rendimento nelle applicazioni critiche
Conforme agli standard internazionali per sicurezza e prestazioni
Per scoprire come il nostro sistema di camicia riscaldata può ottimizzare la gestione termica del tuo processo, contatta il nostro team di ingegneria per una soluzione personalizzata.
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