Τα Σύστημα Θερμαινόμενης Μπόρας παρέχει ακριβή και σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας (±0,5℃) για γραμμές παράδοσης κενού και αερίου σε διεργασίες ημιαγωγών, CVD και εξάτμισης. Σχεδιασμένο για να αποτρέψει τον συμψύχνωση, την εναπόθεση και τη διακοπή ροής, αυτό το σύστημα εξασφαλίζει σταθερή απόδοση διεργασίας και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής εξοπλισμού.
Διαθέσιμο σε πολλές επιλογές υλικών για να ανταποκρίνεται στις ανάγκες της εφαρμογής σας:
Αφρός σιλικόνης
Πλήρες PTFE
Περικάλυψη ptfe
Expanded ptfe
Το σύστημα ενσωματώνει τρία βασικά συστατικά για να παρέχει αξιόπιστη και έξυπνη διαχείριση θερμότητας:
Θερμαντικές Μπόρες – Προσαρμοσμένο σχεδιασμός για συγκεκριμένες διατάξεις σωλήνων και απαιτήσεις ίχνους.
Ελεγκτές PID – Διασφαλίζει σταθερότητα θερμοκρασίας εντός ±0,5℃, με αφιερωμένη επικοινωνία RS485 και πρωτόκολλο Modbus RTU.
Κονσόλες Ελέγχου HMI – Κεντρικός έλεγχος και παρακολούθηση πολλαπλών ζωνών θέρμανσης σε πραγματικό χρόνο.
Γραμμές μεταφοράς αερίων – Διατηρεί τον έλεγχο σημείου δρόσου για επικίνδυνα αέρια όπως BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS και WF₆.
Διεργασίες CVD – Σταθεροποιεί τη θερμοκρασία ατμού πρόδρομου σε συστήματα LPCVD και PECVD (±1℃).
Μεταλλική Εκτύπωση – Διασφαλίζει σταθερή αντίδραση αερίου στην πλασματική εκτύπωση για αλουμίνιο, βολφράμιο και άλλα υλικά.
| Χαρακτηριστικό | Ωφέλιμος |
|---|---|
| Ελέγχος ακρίβειας | σταθερότητα ±0,5℃ με ελεγκτές PID πιστοποιημένους βάσει ISO 15805. |
| Διπλό Σύστημα Ασφαλείας | Ενσωματωμένος θερμοστάτης KSD30 και θερμική ασφάλεια σύμφωνα με το πρότυπο IEC 60691. |
| Φιλική προς το περιβάλλον μόνωση | Χωρίς PFAS, <5% απώλεια θερμότητας, εγκατεστημένο σε κομψό ανοξείδωτο χάλυβα. |
| Έξυπνη παρακολούθηση | Πραγματικού χρόνου ρεύμα ανά ζώνη, ενσωμάτωση MODBUS-TCP με HMI/SCADA. |
| Κεντρική διαχείριση | Συμβατό με InTouch, iFix και άλλες πλατφόρμες SCADA για πλήρη εποπτεία συστήματος. |
Τα Κονσόλα ελέγχου HMI ενοποιεί όλα τα θερμαντικά καλύμματα σε μία διεπαφή, επιτρέποντας:
Παρακολούθηση θερμοκρασίας και κατάστασης σε πραγματικό χρόνο
Καταγραφή ιστορικών δεδομένων και ανάλυση τάσεων
Αυτόματη αναφορά και ειδοποιήσεις συναγερμού (SMS, email, κλήση)
Πρόσβαση από πολλούς υπολογιστές και αμοιβαία δημιουργία αντιγράφων ασφαλείας
Μειώνει την πολυπλοκότητα συντήρησης και τα λειτουργικά έξοδα
Υποστηρίζει κλιμακωτή επέκταση και διαχείριση δικτύου
Βελτιώνει την επαναληψιμότητα διαδικασιών και την απόδοση σε κρίσιμες εφαρμογές
Σύμφωνο με διεθνείς προτύπους ασφαλείας και απόδοσης
Για να μάθετε πώς το Σύστημα Θερμαντικών Μανικετών μπορεί να βελτιώσει τη διαχείριση θερμικών διεργασιών σας, επικοινωνήστε με τη μηχανική μας ομάδα για προσαρμοσμένη λύση.
EN
