Kami Sistem Jaket Pemanas memberikan kawalan suhu yang tepat dan stabil (±0.5℃) untuk saluran penghantaran vakum dan gas dalam proses semikonduktor, CVD, dan pengukiran. Direka untuk mencegah kondensasi, pemendapan, dan halangan aliran, sistem ini memastikan prestasi proses yang konsisten dan jangka hayat peralatan yang lebih panjang.
Tersedia dalam pelbagai pilihan bahan untuk memenuhi keperluan aplikasi anda:
Sila busa
PTFE Penuh
Salutan ptfe
Expanded ptfe
Sistem ini mengintegrasikan tiga komponen utama untuk memberikan pengurusan haba yang boleh dipercayai dan pintar:
Jaket Pemanas – Direka suai untuk susun atur paip dan keperluan laluan tertentu.
Pengendali PID – Memastikan kestabilan suhu dalam julat ±0.5℃, dengan komunikasi RS485 khusus dan protokol Modbus RTU.
Kabinet Kawalan HMI – Memusatkan pemantauan dan kawalan beberapa zon pemanasan secara masa nyata.
Garisan penghantaran gas – Mengekalkan kawalan titik embun bagi gas-gas berbahaya seperti BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS, dan WF₆.
Proses CVD – Menstabilkan suhu wap prekursor dalam sistem LPCVD dan PECVD (±1℃).
Pengukiran Logam – Memastikan reaktiviti gas yang konsisten dalam pengukiran plasma untuk aluminium, tungsten, dan bahan-bahan lain.
| Ciri | Manfaat |
|---|---|
| Kawalan Presisi | kestabilan ±0.5℃ dengan pengawal PID bersijil ISO 15805. |
| Sistem Keselamatan Dwi | Termostat KSD30 terbina dalam dan fius haba mengikut piawaian IEC 60691. |
| Penebat Mesra Alam | Bebas PFAS, kehilangan haba <5%, diperumahkan dalam keluli tahan karat yang anggun. |
| Pemantauan Pintar | Arus masa nyata setiap zon, penyepaduan MODBUS-TCP dengan HMI/SCADA. |
| Pengurusan terpusat | Serasi dengan InTouch, iFix, dan platform SCADA lain untuk pengawasan sistem penuh. |
Kami Kabinet Kawalan HMI menggabungkan semua jaket pemanas ke dalam satu antara muka, membolehkan:
Pemantauan suhu dan status secara masa nyata
Log data sejarah dan analisis trend
Laporan automatik dan pemberitahuan amaran (SMS, e-mel, panggilan)
Akses berbilang komputer dan sandaran bersama
Mengurangkan kekompleksan penyelenggaraan dan kos operasi
Menyokong pengembangan skala dan pengurusan rangkaian
Meningkatkan keulangan proses dan hasil dalam aplikasi kritikal
Mematuhi piawaian antarabangsa untuk keselamatan dan prestasi
Untuk mengetahui bagaimana Sistem Jaket Pemanas kami boleh mengoptimumkan pengurusan haba proses anda, hubungi pasukan kejuruteraan kami untuk penyelesaian yang disesuaikan.
EN
