Наше Систем за загревање јакни обезбеђује прецизну и стабилну регулацију температуре (±0,5℃) за доводне линије вакуума и гасова у процесима у полупроводничкој индустрији, CVD и трављењу. Систем је дизајниран да спречи кондензацију, таложење и блокаду тока, чиме осигурава сталност рада процеса и продужава век трајања опреме.
Доступан у више варијанти материјала у складу са захтевима ваше примене:
Силиконска пена
Пуни PTFE
ПТФЕ премаз
Проширена ПТФЕ
Систем интегрише три основна компонента како би обезбедио поуздано и интелигентно термално управљање:
Јакне за загревање – Прилагођен по мерама за специфичне распореде цеви и захтеве праћења.
ПИД контролери – Осигурава стабилност температуре у оквиру ±0,5℃, са посебном RS485 комуникацијом и Modbus RTU протоколом.
Контролни шафови са ХМИ – Централизовано праћење и контрола више зона грејања у реалном времену.
Linije za dostavu plinova – Одржава контролу тачке росе за опасне гасове као што су BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS и WF₆.
CVD процеси – Стабилизује температуру паре прекурсора у LPCVD и PECVD системима (±1℃).
Хемијско трављење метала – Осигурава сталну реактивност гаса у плазма трављењу за алуминијум, волфрам и друге материјале.
| Особност | Погодност |
|---|---|
| Прецизна контрола | стабилност ±0,5℃ са PID контролерима сертификовано према ISO 15805. |
| Дупли систем сигурности | Уграђени KSD30 термостат и термичка осигурача у складу са IEC 60691. |
| Еколошки изолација | Без PFAS-а, <5% губитак топлоте, у смукленом нерђајућем челику. |
| Pametno praćenje | Струја у реалном времену по зони, интеграција са MODBUS-TCP и HMI/SCADA. |
| Centralizovano upravljanje | Kompatibilno sa InTouch, iFix i drugim SCADA platformama za potpuni nadzor sistema. |
Наше HMI kontrolna kutija konsoliduje sve grejne jakne u jednom interfejsu, omogućavajući:
Praćenje temperature i stanja u realnom vremenu
Evidenciju istorijskih podataka i analizu trendova
Automatsko izveštavanje i obaveštenja o alarmima (SMS, e-mail, poziv)
Pristup sa više računara i međusobno rezervno kopiranje
Smanjuje složenost održavanja i operativne troškove
Podržava skalabilnu ekspanziju i upravljanje mrežom
Poboljšava ponovljivost procesa i isplativost u kritičnim primenama
U skladu sa međunarodnim standardima za bezbednost i performanse
Da biste saznali kako naš sistem grejnih jakni može optimizovati upravljanje termalnim procesima, kontaktirajte naš tim inženjera radi prilagođenog rešenja.
EN
