Milik Kami Sistem Jaket Pemanas memberikan kontrol suhu yang presisi dan stabil (±0,5℃) untuk saluran pengiriman vakum dan gas dalam proses semikonduktor, CVD, dan etsa. Dirancang untuk mencegah kondensasi, pengendapan, dan hambatan aliran, sistem ini memastikan kinerja proses yang konsisten dan memperpanjang umur peralatan.
Tersedia dalam berbagai pilihan material untuk memenuhi kebutuhan aplikasi Anda:
Busa silikon
Full PTFE
PTFE coating
Expanded ptfe
Sistem ini mengintegrasikan tiga komponen utama untuk menyediakan manajemen termal yang andal dan cerdas:
Jaket Pemanas – Dirancang khusus untuk tata letak pipa dan kebutuhan tracer tertentu.
Kontroler PID – Menjaga stabilitas suhu dalam kisaran ±0,5℃, dengan komunikasi RS485 khusus dan protokol Modbus RTU.
Kabinet Kontrol HMI – Sentralisasi pemantauan dan pengendalian beberapa zona pemanasan secara waktu nyata.
Saluran pengiriman gas – Menjaga kontrol titik embun untuk gas berbahaya seperti BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS, dan WF₆.
Proses CVD – Menstabilkan suhu uap prekursor dalam sistem LPCVD dan PECVD (±1℃).
Etsa Logam – Memastikan reaktivitas gas yang konsisten dalam etsa plasma untuk aluminium, tungsten, dan material lainnya.
| Fitur | Manfaat |
|---|---|
| Kontrol presisi | stabilitas ±0,5℃ dengan pengendali PID yang bersertifikasi ISO 15805. |
| Sistem Keamanan Ganda | Termostat KSD30 bawaan dan sekring termal sesuai IEC 60691. |
| Isolasi Ramah Lingkungan | Bebas PFAS, kehilangan panas <5%, dilengkapi casing stainless steel yang ramping. |
| Pemantauan Cerdas | Arus real-time per zona, integrasi MODBUS-TCP dengan HMI/SCADA. |
| Manajemen terpusat | Kompatibel dengan InTouch, iFix, dan platform SCADA lainnya untuk pengawasan sistem penuh. |
Milik Kami Lemari Kontrol HMI mengonsolidasikan semua jaket pemanas ke dalam satu antarmuka, memungkinkan:
Pemantauan suhu dan status secara real-time
Pencatatan data historis dan analisis tren
Pelaporan otomatis dan notifikasi alarm (SMS, email, panggilan)
Akses multi-komputer dan pencadangan salingan
Mengurangi kompleksitas pemeliharaan dan biaya operasional
Mendukung ekspansi yang dapat diskalakan dan manajemen jaringan
Meningkatkan pengulangan proses dan hasil dalam aplikasi kritis
Memenuhi standar internasional untuk keselamatan dan kinerja
Untuk mengetahui bagaimana Sistem Jaket Pemanas kami dapat mengoptimalkan manajemen termal proses Anda, hubungi tim teknik kami untuk solusi yang disesuaikan.
EN
