Nasze System Grzejny dla Kurtki zapewnia dokładną i stabilną kontrolę temperatury (±0,5 ℃) dla rurociągów próżniowych i gazowych w procesach półprzewodnikowych, CVD i trawieniowych. Zaprojektowany tak, aby zapobiegać skraplaniu, osadzaniu się substancji oraz zablokowaniu przepływu, ten system gwarantuje spójność działania procesu i wydłuża żywotność urządzeń.
Dostępny w wielu opcjach materiałów dostosowanych do potrzeb Twoich zastosowań:
Pianka silikonowa
Pełny PTFE
Powłoka ptfe
Expanded ptfe
System integruje trzy podstawowe komponenty, zapewniając niezawodne i inteligentne zarządzanie ciepłem:
Nawiewniki Grzejne – Projektowany indywidualnie według konkretnych układów rur i wymagań śledzenia.
Sterowniki PID – Zapewnia stabilność temperatury w zakresie ±0,5 ℃, z dedykowaną komunikacją RS485 i protokołem Modbus RTU.
Szafy Sterujące HMI – Umożliwia centralne monitorowanie i kontrolę wielu stref grzewczych w czasie rzeczywistym.
Linii dostarczania gazu – Zapewnia kontrolę punktu rosy dla gazów niebezpiecznych, takich jak BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS i WF₆.
Procesy CVD – Stabilizuje temperaturę pary prekursora w systemach LPCVD i PECVD (±1 ℃).
Trawienie metali – Zapewnia stałą reaktywność gazu w trawieniu plazmowym aluminium, wolframu oraz innych materiałów.
| Cechy | Świadczenie |
|---|---|
| Kontrola precyzyjna | stabilność ±0,5 ℃ dzięki sterownikom PID certyfikowanym zgodnie z ISO 15805. |
| Podwójny system bezpieczeństwa | Wbudowany termostat KSD30 oraz bezpiecznik termiczny zgodny z normą IEC 60691. |
| Eko-friendly izolacja | Bez PFAS, straty ciepła <5%, umieszczony w eleganckiej stalowej obudowie. |
| Inteligentne monitorowanie | Prąd rzeczywisty dla każdej strefy, integracja MODBUS-TCP z HMI/SCADA. |
| Centralne zarządzanie | Zgodny z InTouch, iFix oraz innymi platformami SCADA, zapewniając pełną kontrolę systemu. |
Nasze Szafa sterownicza HMI konsoliduje wszystkie płaszcze grzewcze w jednym interfejsie, umożliwiając:
Monitorowanie temperatury i stanu w czasie rzeczywistym
Rejestrację danych historycznych i analizę trendów
Zautomatyzowane raportowanie i powiadomienia alarmowe (SMS, e-mail, telefon)
Dostęp z wielu komputerów i wzajemna kopия zapasowa
Zmniejsza złożoność konserwacji i koszty operacyjne
Obsługuje skalowalną rozbudowę i zarządzanie siecią
Poprawia powtarzalność procesów i wydajność w zastosowaniach krytycznych
Zgodne ze międzynarodowymi standardami bezpieczeństwa i wydajności
Aby dowiedzieć się, jak nasz System Ogrzewania Termiczego może zoptymalizować zarządzanie ciepłem w Twoim procesie, skontaktuj się z naszym zespołem inżynieryjnym w celu uzyskania spersonalizowanego rozwiązania.
EN
