ระบบแจ็คเก็ตให้ความร้อน – การจัดการความร้อนอย่างแม่นยำสำหรับการผลิตขั้นสูง

ภาพรวม

ของเรา ระบบฮีตเตอร์แจ็คเก็ต ให้การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและคงที่ (±0.5℃) สำหรับท่อส่งสุญญากาศและก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, CVD และการกัดกร่อน ออกแบบมาเพื่อป้องกันการควบแน่น การสะสมของสาร และการอุดตันของท่อ ระบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ และยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์

มีให้เลือกหลายวัสดุเพื่อตอบสนองความต้องการในการใช้งานของคุณ:

• โฟมซิลิโคน

• PTFE ทั้งชิ้น

• พรม PTFE

• Expanded ptfe

วิธีการทำงาน

ระบบรวมองค์ประกอบหลักสามส่วนเพื่อให้การจัดการความร้อนที่เชื่อถือได้และชาญฉลาด:

• แจ็คเก็ตทำความร้อน – ออกแบบเฉพาะตามรูปแบบท่อและข้อกำหนดการติดตามที่ต้องการ

• เครื่องควบคุม PID – รักษาระดับความคงที่ของอุณหภูมิภายใน ±0.5℃ พร้อมการสื่อสารผ่าน RS485 และโปรโตคอล Modbus RTU

• ตู้ควบคุม HMI – ควบคุมและตรวจสอบโซนให้ความร้อนหลายจุดพร้อมกันแบบเรียลไทม์

การใช้งานหลัก

• ท่อนำส่งก๊าซ – ควบคุมจุดน้ำค้างสำหรับก๊าซอันตราย เช่น BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS และ WF₆

• กระบวนการ CVD – ควบคุมอุณหภูมิไอของสารตั้งต้นให้คงที่ในระบบ LPCVD และ PECVD (±1℃)

• การกัดกร่อนด้วยโลหะ – รับประกันความสม่ำเสมอของก๊าซที่ทำปฏิกิริยาในกระบวนการกัดกร่อนด้วยพลาสมา สำหรับอลูมิเนียม ทังสเตน และวัสดุอื่นๆ

เหตุใดจึงควรเลือกระบบแจ็คเก็ตให้ความร้อนของเรา?

การควบคุมและตรวจสอบแบบบูรณาการ

ของเรา ตู้ควบคุม HMI รวมแจ็คเก็ตให้ความร้อนทั้งหมดเข้าสู่อินเทอร์เฟซเดียว ทำให้สามารถ:

• ตรวจสอบอุณหภูมิและสถานะแบบเรียลไทม์

• บันทึกข้อมูลย้อนหลังและการวิเคราะห์แนวโน้ม

• สร้างรายงานอัตโนมัติและการแจ้งเตือน (SMS, อีเมล, โทรศัพท์)

• การเข้าถึงจากหลายคอมพิวเตอร์และการสำรองข้อมูลซ้อนกัน

ออกแบบเพื่อประสิทธิภาพและความปลอดภัย

• ลดความซับซ้อนในการบำรุงรักษาและต้นทุนการดำเนินงาน

• รองรับการขยายตัวอย่างมีประสิทธิภาพและการจัดการเครือข่าย

• เพิ่มความซ้ำซ้อนของกระบวนการและผลผลิตในแอปพลิเคชันที่สำคัญ

• เป็นไปตามมาตรฐานสากลว่าด้วยความปลอดภัยและประสิทธิภาพ

ขอข้อมูลเพิ่มเติม

เพื่อเรียนรู้ว่าระบบแจ็คเก็ตความร้อนของเราสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการจัดการความร้อนในกระบวนการของคุณได้อย่างไร โปรดติดต่อทีมวิศวกรของเราเพื่อขอรับโซลูชันที่ออกแบบเฉพาะสำหรับคุณ