Нашите Система за отоплителна яка осигурява прецизен и стабилен контрол на температурата (±0,5 ℃) за вакуумни и газови тръбопроводи в полупроводникови, CVD и етчиращи процеси. Конструирана да предотвратява кондензация, отлагане и затваряне на потока, тази система гарантира последователна производствена производителност и по-дълъг живот на оборудването.
Налична в няколко варианта на материали, за да отговаря на нуждите на вашето приложение:
Силиконова пяна
Пълен PTFE
PTFE покритие
Разширен ptfe
Системата включва три основни компонента, които осигуряват надеждно и интелигентно термично управление:
Отоплителни яки – Проектиран по поръчка за специфични тръбни конфигурации и изисквания за проследяване.
Контролатори за PID – Осигурява стабилност на температурата в рамките на ±0,5 ℃, с отделна RS485 комуникация и Modbus RTU протокол.
Конзоли за управление с HMI – Централизиран мониторинг и контрол на множество зони за отопление в реално време.
Линии за предаване на газ – Поддържа контрол на точката на оросяване за опасни газове като BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS и WF₆.
CVD процеси – Стабилизира температурата на парите от прекурсор в LPCVD и PECVD системи (±1 ℃).
Метално травлене – Осигурява постоянна реакционна способност на газа при плазмено травлене на алуминий, волфрам и други материали.
| Функция | Полза |
|---|---|
| Прецизен контрол | стабилност ±0,5 ℃ с PID регулатори, сертифицирани по ISO 15805. |
| Двойна система за безопасност | Вграден термостат KSD30 и термичен предпазител, съвместим с IEC 60691. |
| Екологично топлоизолиране | Без PFAS, <5% топлинни загуби, поставено в елегантна неръждаема стомана. |
| Умно наблюдение | Реално време за ток по зони, интеграция с MODBUS-TCP чрез HMI/SCADA. |
| Централизирано управление | Съвместим с InTouch, iFix и други SCADA платформи за пълен контрол на системата. |
Нашите Контролен шкаф HMI обединява всички загревателни яки в един интерфейс, осигурявайки:
Мониторинг на температурата и състоянието в реално време
Регистриране на исторически данни и анализ на тенденции
Автоматизирано отчитане и известия за аларми (SMS, имейл, обаждане)
Достъп от няколко компютъра и взаимно резервно копиране
Намалява сложността при поддръжката и експлоатационните разходи
Поддържа мащабируемо разширяване и управление на мрежата
Подобрява повтаряемостта на процесите и добива при критични приложения
Съответства на международните стандарти за безопасност и производителност
За да научите как нашата система за греещи джапони може да оптимизира топлинното управление на вашия процес, свържете се с нашия инженерен екип за персонализирано решение.
EN
