Onze Verwarmingssysteem met jas biedt nauwkeurige en stabiele temperatuurregeling (±0,5 ℃) voor vacuüm- en gasafvoerleidingen in halfgeleider-, CVD- en etsprocessen. Dit systeem is ontworpen om condensatie, afzetting en doorstroombelemmering te voorkomen en zorgt voor constante procesprestaties en een langere levensduur van de apparatuur.
Verkrijgbaar in meerdere materiaalopties om aan uw toepassingsbehoeften te voldoen:
Silicone schuim
Volledig PTFE
Ptfe-coating
Expanded ptfe
Het systeem integreert drie kerncomponenten om betrouwbaar en intelligent thermisch management te bieden:
Verwarmingsjassen – Op maat ontworpen voor specifieke buisleidingindelingen en trace-eisen.
PID-controllers – Zorgen voor temperatuurstabiliteit binnen ±0,5 ℃, met toegewijde RS485-communicatie en Modbus RTU-protocol.
HMI Controlekasten – Centraliseer het bewaken en regelen van meerdere verwarmingszones in real time.
Gasleveringslijnen – Handhaaft dauwpuntregeling voor gevaarlijke gassen zoals BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS en WF₆.
CVD-processen – Stabiliseert de temperatuur van precursorstoom in LPCVD- en PECVD-systemen (±1℃).
Metaletching – Zorgt voor constante gasreactiviteit bij plasma-etching van aluminium, wolfraam en andere materialen.
| Kenmerk | Uitkering |
|---|---|
| Precisiecontrole | ±0,5℃ stabiliteit met ISO 15805-gecertificeerde PID-regelaars. |
| Dubbel veiligheidssysteem | Ingebouwde KSD30-thermostaat en IEC 60691-compatibele thermische zekering. |
| Milieuvriendelijke isolatie | PFAS-vrij, <5% warmteverlies, ondergebracht in een strakke roestvrijstalen behuizing. |
| Slimme monitoring | Realtime stroom per zone, MODBUS-TCP-integratie met HMI/SCADA. |
| Gecentraliseerd beheer | Compatibel met InTouch, iFix en andere SCADA-platforms voor volledig systeemoverzicht. |
Onze HMI-bedieningskast consolideert alle verwarmingsjacks in één interface, waardoor mogelijk wordt:
Realtime temperatuur- en statusmonitoring
Historische datalogging en trendanalyse
Geautomatiseerd rapportage en alarmmeldingen (SMS, e-mail, telefoontje)
Toegang vanaf meerdere computers en onderlinge back-up
Vermindert onderhoudscomplexiteit en operationele kosten
Ondersteunt schaalbare uitbreiding en netwerkbeheer
Verbetert de herhaalbaarheid van processen en het rendement bij kritieke toepassingen
Voldoet aan internationale normen voor veiligheid en prestaties
Neem contact op met ons engineeringteam om te ontdekken hoe ons verwarmingsjassysteem uw thermische procesbeheersing kan optimaliseren, en ontvang een op maat gemaakte oplossing.
EN
