Біздің Қыздырулық құрылғы жүйесі жартылай өткізгіштер, CVD және эрозия процестері үшін вакуумдық және газ беру желілерінде дәл және тұрақты температураны (±0,5℃) қамтамасыз етеді. Конденсацияның, шөгіндінің және ағын бітелуін болдырмау үшін құрылған, бұл жүйе процесс орындалуының тұрақтылығын және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартуды қамтамасыз етеді.
Қолданылуыңызға сәйкес келетін бірнеше материалдық нұсқаларда ұсынылады:
Кремнийлі көбік
Толық PTFE
PTFE жабыны
Кеңейтілген PTFE
Жүйе сенімді және интеллектуалды жылумен басқаруды қамтамасыз ету үшін үш негізгі компонентті біріктіреді:
Қыздыру қаптамалары – Нақты түтік жинақтары мен трасса талаптары үшін арнайы құрастырылған.
PID басқару құрылғылары ±0,5℃ температураның тұрақтылығын қамтамасыз етеді, арнайы RS485 байланысы және Modbus RTU протоколымен жабдықталған.
HMI Басқару шкафтары бірнеше қыздыру аймақтарын нақты уақыт режимінде орталықтандырып бақылау және басқару.
Газ беру желілері bCl₃, ClF₃, TEOS, DCS және WF₆ сияқты қауіпті газдар үшін тамшы нүктесінің бақылауын сақтайды.
CVD процестері lPCVD және PECVD жүйелеріндегі алдын-ала зат будың температурасын тұрақтандырады (±1℃).
Металлдарды эрозиялау алюминий, вольфрам және басқа материалдар үшін плазмалық эрозия кезінде газ реакциялық қабілетінің тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
| Ерекшелігі | Пайда |
|---|---|
| Дәлдік басқаруы | iSO 15805 сертификатталған PID реттегіштерімен ±0,5℃ тұрақтылық. |
| Екі деңгейлі қауіпсіздік жүйесі | КSD30 термостаты мен IEC 60691 стандартына сәйкес келетін жылулық қорғау құрылғысы бар |
| Қоршаған ортаға зияны төмен изоляция | PFAS-сіз, жылу шығыны <5%, стильді болат корпусқа орнатылған |
| Өзгертуі тиімді | Әрбір аймақ бойынша нақты уақыттағы ток, HMI/SCADA жүйесімен MODBUS-TCP арқылы интеграция |
| Централизованное управление | InTouch, iFix және басқа да SCADA платформаларымен үйлесімді, жүйені толық бақылау мүмкіндігін қамтамасыз етеді |
Біздің HMI Басқару Шкафы барлық қыздыру қаптарын бір интерфейсте біріктіреді, мыналарды қамтамасыз етеді:
Нақты уақыт режиміндегі температураны және күйін бақылау
Тарихи деректерді тіркеу және тенденцияларды талдау
Автоматтандырылған есеп беру және алдын ала хабардар ету (SMS, электрондық пошта, қоңырау)
Бірнеше компьютерге қол жеткізу және өзара резервтеу
Жөндеу күрделілігін және жұмыс шығындарын азайтады
Масштабталатын кеңейту мен желілік басқаруды қолдайды
Критикалық қолданбаларда процестің қайталануын және шығымды арттырады
Қауіпсіздік және өнімділік бойынша халықаралық стандарттарға сәйкес
Қыздыру қаптамасы жүйесінің сіздің процесіңіздің жылумен басқаруын қалай оптималдандыра алатынын білу үшін инженерлік тобымызбен байланысып, дәл сізге арналған шешімді алыңыз.
EN
