Mūsu Apkures jakas sistēma nodrošina precīzu un stabilu temperatūras regulēšanu (±0,5 ℃) vakuuma un gāzes padeves caurulēm pusvadītāju, CVD un ķemmes procesos. Izstrādāta, lai novērstu kondensāciju, nogulsnēšanos un plūsmas traucējumus, šī sistēma garantē stabili procesa veiktspēju un pagarinātu aprīkojuma kalpošanas laiku.
Pieejama vairākos materiālu variantos atbilstoši jūsu pielietojuma vajadzībām:
Silikona putas
Pilns PTFE
PTFE pārklājums
Paplašināts ptfe
Sistēma integrē trīs pamatkomponentus, nodrošinot uzticamu un inteligentu siltuma vadību:
Apkures jakas – Speciāli izstrādāta konkrētiem cauruļvadu izkārtojumiem un trasi nepieciešamībai.
PID regulatori – Nodrošina temperatūras stabilitāti ±0,5 ℃ robežās ar atsevišķu RS485 sakaru un Modbus RTU protokolu.
HMI vadības skapji – Centrāli uzrauga un regulē vairākas apsildes zonas reālā laikā.
Gāzes piegādes līnijas – Uztur mitruma punkta kontroli bīstamām gāzēm, piemēram, BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS un WF₆.
CVD procesi – Stabilizē prekursora tvaika temperatūru LPCVD un PECVD sistēmās (±1 ℃).
Metālu ētēšana – Nodrošina vienmērīgu gāzes reaktivitāti plazmas ētēšanā alumīnijam, volfrāmam un citiem materiāliem.
| Iezīme | Piederošanās priekšrocības |
|---|---|
| Precīza kontrole | ±0,5 ℃ stabilitāte ar ISO 15805 sertificētiem PID regulatoriem. |
| Divu drošības sistēma | Iebūvēts KSD30 termostats un IEC 60691 atbilstošs termofusils. |
| Videi draudzīga izolācija | Bez PFAS, <5% siltuma zudums, ievietots elegants nerūsējošā tērauda korpusā. |
| Pamata monitoringa sistēma | Reāllaika strāva katram apgabalam, MODBUS-TCP integrācija ar HMI/SCADA. |
| Centralizēta pārvaldība | Saderīgs ar InTouch, iFix un citām SCADA platformām pilnai sistēmas uzraudzībai. |
Mūsu HMI vadības skapis apvieno visus apkures apvalkus vienā saskarnē, ļaujot:
Temperatūras un statusa uzraudzību reāllaikā
Vēsturisko datu reģistrēšana un tendenču analīze
Automatizēti pārskati un trauksmes paziņojumi (SMS, e-pasts, zvans)
Daudzdatortiesa un savstarpējā rezerves sistēma
Samazina uzturēšanas sarežģītību un ekspluatācijas izmaksas
Atbalsta mērogojamu paplašināšanu un tīkla pārvaldību
Uzlabo procesa atkārtojamību un iznākumu kritiskās lietojumprogrammās
Atbilst starptautiskajiem standartiem attiecībā uz drošību un veiktspēju
Lai uzzinātu, kā mūsu apkures apvalks var optimizēt jūsu procesa siltuma pārvaldību, sazinieties ar mūsu inženieru komandu, lai saņemtu pielāgotu risinājumu.
EN
