Nos Système de Veste Chauffante assure un contrôle précis et stable de la température (±0,5 °C) pour les lignes de transfert sous vide et de gaz dans les procédés de semi-conducteurs, de CVD et de gravure. Conçu pour éviter la condensation, les dépôts et les obstructions d'écoulement, ce système garantit des performances de procédé constantes et une durée de vie prolongée de l'équipement.
Disponible en plusieurs options de matériaux adaptées à vos besoins d'application :
Mousse en silicone
PTFE intégral
Revêtement PTFE
Expanded ptfe
Le système intègre trois composants principaux afin d'assurer une gestion thermique fiable et intelligente :
Vestes chauffantes – Conçu sur mesure pour des configurations de tuyauterie et des exigences de traçage spécifiques.
Contrôleurs PID – Assure une stabilité de température de ±0,5 ℃, avec communication RS485 dédiée et protocole Modbus RTU.
Armoires de contrôle HMI – Centralise la surveillance et le contrôle en temps réel de plusieurs zones de chauffage.
Lignes de livraison de gaz – Maintient le contrôle du point de rosée pour les gaz dangereux tels que BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS et WF₆.
Procédés CVD – Stabilise la température de la vapeur de précurseur dans les systèmes LPCVD et PECVD (±1 ℃).
Gravure métallique – Assure une réactivité constante des gaz dans la gravure plasma de l'aluminium, du tungstène et d'autres matériaux.
| Caractéristique | Bénéficier |
|---|---|
| Contrôle Précis | stabilité ±0,5 ℃ avec des régulateurs PID certifiés ISO 15805. |
| Système de sécurité double | Thermostat KSD30 intégré et fusible thermique conforme à la norme IEC 60691. |
| Isolation écologique | Sans PFAS, pertes thermiques <5 %, logé dans un élégant boîtier en acier inoxydable. |
| Surveillance intelligente | Courant en temps réel par zone, intégration MODBUS-TCP avec HMI/SCADA. |
| Gestion centralisée | Compatible avec InTouch, iFix et d'autres plateformes SCADA pour une supervision complète du système. |
Nos Armoire de commande HMI regroupe tous les systèmes de chauffage dans une seule interface, permettant :
Surveillance en temps réel de la température et de l'état
Enregistrement des données historiques et analyse des tendances
Rapports automatisés et notifications d'alarme (SMS, courriel, appel)
Accès multi-ordinateurs et sauvegarde mutuelle
Réduit la complexité de maintenance et les coûts opérationnels
Prend en charge l'expansion évolutive et la gestion du réseau
Améliore la répétabilité des processus et le rendement dans les applications critiques
Conforme aux normes internationales en matière de sécurité et de performance
Pour découvrir comment notre système de veste chauffante peut optimiser la gestion thermique de votre processus, contactez notre équipe d'ingénieurs pour une solution sur mesure.
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